[实用新型]一种在线镀膜液态原料传输系统

权利要求书

1.一种在线镀膜液态原料传输系统，包括加压气源，其特征是：所述的加压气源通过气管与加压模块连接，所述的加压模块包括与加压气源连接的第一加压气阀，所述的第一加压气阀设置在第一气管上，所述的第一气管分别连接有第一支气管和第二支气管，所述的第一支气管上连接有第二加压气阀，所述的第二加压气阀往下设有排气管与第一支气管连接，所述的排气管上设有第一排气阀；

所述的第一支气管与排气管连接处往下部分与液态原料储存罐连接，且此部分上还设有第一气阀；所述的液态原料储存罐还与第二支气管连接；

所述的第二支气管上连接有第二气阀，所述的第二气阀往上连接有连接气管，所述的第二支气管与连接气管连接处和第二支气管与第一气管连接处之间由下往上依次设有第三加压阀和单向气阀；

所述的连接气管上设有第三气阀且尾端与缓冲罐连接，所述的缓冲罐通过气管与流量控制模块连接；所述的流量控制模块包括与缓冲罐连接的第一连接支气管和第二连接支气管，所述的第一连接支气管和第二连接支气管上各连接有一个结构相同的第一流量控制组和第二流量控制组；

所述的第一连接支气管和第二连接支气管之间连接有互通管，所述的互通管自上往下依次连接有第五气阀、第一排气支管、第二排气支管、第六气阀；

所述的所述的第一连接支气管和第二连接支气管与互通管连接端往右分别连接有第一蒸发器气阀和第二蒸发器气阀，且最右端分别和一号蒸发器和二号蒸发器连接；

所述的第一排气支管连接第二排气阀后与排气管连接；

所述的第二排气支管连接第三排气阀后与第一气管连接，其与第一气管连接后再与第四排气阀连接最后与排气管连接，所述的排气管尾端与排气管线连接。

2.如权利要求1所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述加压气源为氮气或氦气。

3.如权利要求1所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述的传输系统中的管路均采用耐腐蚀合金材料制作。

4.如权利要求1所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述液态原料储罐采用压力容器制作。

5.如权利要求1至4任一所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述的质量流量计、流量控制阀通过变送器与远程计算机连接。

6.如权利要求1或4所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述的液态原料储存罐放置在称重装置上。

7.如权利要求6所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述的称重装置为电子秤。

8.如权利要求1所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：第二支气管伸入液态原料储存罐的端部液位比第一支气管伸入液态原料储存罐的端部的液位低。

9.如权利要求1所述的一种在线镀膜液态原料传输系统，其特征是：所述的第二流量控制组自左向右依次连接有第四气阀、质量流量计、流量控制阀。