[实用新型]真空腔内阻止托盘回弹的机构

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池片的制造设备技术领域，尤其涉及一种真空腔内阻止托盘回弹的机构。

背景技术

在太阳能离子注入机行业中，太阳能硅片工件需要通过托盘连续传输，托盘从大气环境下进入，依次经过处于真空环境的进片腔、注入前缓冲腔、离子束注入区域、注入后缓冲腔和出片腔后出到大气环境中，完成整个离子注入过程。当托盘运动到注入后缓冲腔时，当托盘触碰到腔壁时，托盘容易被反弹回来，影响后续托盘前进，导致托盘队列不能连续匀速传输，这将影响设备的生产效率。

有鉴于此，确有必要提供一种真空腔内阻止托盘回弹的机构，其可以防止托盘碰到注入后缓冲腔的腔壁时被反弹回来。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术的不足，而提供一种真空腔内阻止托盘回弹的机构，其可以防止托盘碰到注入后缓冲腔的腔壁时被反弹回来。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

真空腔内阻止托盘回弹的机构，包括挡块、连接杆、连接轴，所述连接轴穿过所述连接杆，所述连接杆的下部末端与所述挡块接触。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述连接杆上设置有安装孔，所述连接轴穿过所述安装孔，所述安装孔到所述连接杆的顶部的重量小于所述安装孔到所述连接杆的末端的重量。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，位于真空腔内的托盘通过接触所述连接杆的顶部对所述连接轴所产生的力矩大于所述安装孔到所述连接杆末端的重量对所述连接轴所产生的力矩。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述连接杆的末端的形状为球形、长方体形、棱柱形或椭球形。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述连接轴设置为销轴。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述安装孔到所述连接杆的顶部的距离与所述连接杆的长度的比小于1/2。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述连接杆的顶部为平面，所述连接杆的顶部所在平面高出于位于真空腔内的托盘的底部所在平面。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述真空腔的一端设置有挡板，所述连接杆与所述挡板之间的水平距离大于或等于位于真空腔内的托盘的长度。

作为本实用新型真空腔内阻止托盘回弹的机构的一种改进，所述连接杆的顶部的远离所述挡块的一侧设置有倒角。

相对于现有技术，本实用新型包括挡块、连接杆、连接轴，所述连接轴穿过所述连接杆，所述连接杆的下部末端与所述挡块接触，当托盘进入时，托盘的底部与连接杆的顶部的一端接触，托盘对连接杆施加的力使得连接杆绕着连接轴顺时针旋转，从而使得连接杆的另一端远离托盘的底部，托盘得以自由通过，当托盘的底部完全通过连接杆的顶部后，连接杆绕着连接轴逆时针旋转回复到原位，当托盘运动到与腔壁接触的位置欲反弹时，由于连接杆的顶部高出于托盘的底部，因此，托盘无法反弹。如此，就实现了阻止托盘反弹的功能。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的工作原理图（托盘未与连接杆接触时）。

图3为本实用新型的工作原理图（托盘与连接杆接触时）。

图4为本实用新型的工作原理图（托盘离开连接杆后）。

其中：

1-挡块；

2-连接杆；

3-连接轴；

4-安装孔；

5-托盘；

6-挡板。

具体实施方式

如图1至图4所示，本实用新型提供的真空腔内阻止托盘回弹的机构，包括挡块1、连接杆2、连接轴3，连接轴3穿过连接杆2，连接杆2可以绕着连接轴3顺时针或逆时针旋转，连接杆2的下部末端与挡块1接触，以防止连接杆2过度旋转，妨碍托盘的通过。

连接杆2上设置有安装孔4，连接轴3穿过安装孔4内，安装孔4到连接杆2的顶部的重量小于安装孔4到连接杆2的末端的重量，即连接杆2的末端形成重力下坠块，以引导连接杆2的旋转复位。

位于真空腔内的托盘5通过接触连接杆2的顶部对连接轴3所产生的力矩大于安装孔4到连接杆2末端的重量对连接轴3所产生的力矩，从而当托盘5的底部与连接杆2的顶部接触时，托盘5施加的力能够使得连接杆2顺时针旋转起来。

连接杆2的末端的形状为球形、长方体形、棱柱形或椭球形，其形状可以根据实际需要进行合理的选择。本实施例中设置为球形。