[实用新型]一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置有效
| 申请号： | 201520509257.X | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN204849012U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 郭庆;李险峰;臧晓良;黄琨;凌晨 | 申请（专利权）人： | 中建材光电装备（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;徐丹 |
| 地址： | 215434 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 空腔 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：包括：
一主体（1），该主体（1）为拉制工艺制作的铝型材，该主体（1）内设有相互平行的沿长度方向的第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）；以及
一第一端板（2），封设于所述主体（1）的一端，该第一端板（2）内设通道将所述第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）连通。
2.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：所述侧冷却装置还包括一第二端板（3），该第二端板（3）相对于第一端板（2）设于所述主体（1）的另一端，所述第二端板（3）上各对应第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）设有与之相通的管接头（31）。
3.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：所述主体（1）上均匀开设有若干个沿厚度方向的腰型孔（13），且腰型孔（13）位于所述第一冷却水通道（11）和第二冷却水通道（12）之间的位置。
4.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的侧冷却装置，其特征在于：所述主体（1）上设有若干个沿厚度方向的销孔（14）。
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