[实用新型]一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置。

背景技术

多晶硅的需求主要来自于半导体和太阳能领域。按纯度要求不同，分为电子级和太阳能级。随着光伏产业的迅猛发展，太阳能领域对多晶硅的需求量直线上升，再加上半导体领域的稳定发展，从而带动了多晶硅行业的不断进步。

按硅沉积反应时使用原料的不同，目前世界上批量生产棒状多晶硅的方法分别为使用硅烷作原料的新硅烷热分解法和使用三氯氢硅作原料的改良西门子法。改良西门子法是多晶硅生产的主流工艺，但是在改良西门子法合成、干法还原及氢化工序中，均会产生一定量的副产物SiH₂Cl₂,SiH₂Cl₂无法直接使用,需使用氯硅烷反歧化反应精馏装置转化成SiHCl₃后，方可以使用。将氯硅烷中的SiH₂Cl₂完全转化，使其不再携带沸点接近B杂质，大大降低了三氯氢硅的提纯难度、提高多晶硅产品质量,显著降低物耗和生产成本。

改良西门子法技术成熟，硅烷法生产成本低，这两种方法都是目前生产多晶硅的主要方法，将这两种方法结合，用一套装置生产多晶硅，能大大降低设备投资成本和提高设备的利用率。

目前采用改良西门子法和新硅烷热分解法联合生产多晶硅是一种趋势。然而改良西门子法的副产物SiH₂Cl₂需要使用氯硅烷反歧化反应精馏装置进行再转化，新硅烷热分解法中的硅烷制备需要使用氯硅烷歧化反应精馏装置。为满足以上改良西门子法副产物SiH₂Cl₂转化和新硅烷热分解法中的硅烷的制备，设计一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置。

一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置即满足了改良西门子法反歧化反应和新硅烷热分解法的歧化反应，又降低了设备投资成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置，可以通过阀门的控制实现歧化和反歧化反应精馏的转换。

本实用新型的技术方案如下：

一种兼用于硅烷、氯硅烷歧化及反歧化的反应精馏装置：反应塔(1)上设置有精馏段填料(14)、结构催化剂段(15)和提馏段填料(17)；塔底设置有再沸器(20)；塔上设置有改良西门子法的进料开关阀(2)、采出开关阀(7)、冷凝器(12)和开改良西门子法塔底循环泵；塔上同时设置有新硅烷热分解法进料开关阀、侧采开关阀(4)、换热器(5)、循环泵(6)、塔顶深冷器(9)和气相进出口开关阀。

在提馏段填料(17)上方设置两条进料管线，一条进料管线设置改良西门子法进料开关阀(2)，另一条进料管线设置新硅烷热分解法进料开关阀(3)。

在结构催化剂段(15)上方设置侧线采出管线，侧线采出管线上设置新硅烷热分解法侧采开关阀(4)，新硅烷热分解法侧采开关阀(4)后面通过管线依次连接新硅烷热分解法中段取热换热器(5)和新硅烷热分解法中段循环泵(6)，经过管线返回到精馏段填料(14)的段下方。

在精馏段填料(14)的第一段填料下方设置改良西门子法塔顶产品采出管线，采出管线上安装改良西门子法塔顶产品采出开关阀(7)，以确保改良西门子法塔顶产品的采出。

反应塔(1)塔顶气相出口管线包括两条：其中一条塔顶气相出口管线上方设置新硅烷热分解法塔顶气相出口开关阀(10)，开关阀(10)后面安装新硅烷热分解法塔顶深冷器(9)，经过深冷器(9)深冷后的产品，一部分通过塔顶采出管线采出作为硅烷产品，另一部分通过回流管线回流至反应塔(1)的精馏段填料(14)的上方，回流管线上设置新硅烷热分解法回流开关阀(8)；另一条塔顶气相出口管线上方设置改良西门子法塔顶气相出口开关阀(11)，开关阀(11)后面安装改良西门子法塔顶冷凝器(12)，经过冷凝器(12)冷却后的产品，一部分通过回流管线回流至精馏段填料(14)的上方，且此段管线上设置改良西门子法回流1开关阀(13)，另一部分通过回流管线回流至提馏段填料(17)的上方，且在此段管线上设置改良西门子法回流2开关阀(16)。

反应塔(1)的提馏段填料(17)的中下部设置塔底循环管线，塔底循环管线上设置改良西门子法塔底循环泵开关阀(19)，开关阀(19)后面通过管线连接改良西门子法塔底循环泵(18)，然后由改良西门子法塔底循环泵(18)通过管线连接反应塔(1)将循环液打回反应塔(1)结构催化剂段(15)的上方。