[实用新型]三氯氢硅歧化反应精馏生产硅烷的装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅歧化反应精馏生产硅烷的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段、反应段和提馏段；在精馏段上设置有塔顶深冷器，塔釜设置有再沸器，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶冷凝器和精馏段设置有真空夹套和保温层，塔顶冷凝器和精馏段的真空夹套上分别设有真空抽口，反应段和提馏段设置有保温层；塔顶设置有硅烷出口；塔顶深冷器设置有塔顶冷凝液入口和塔顶冷凝液出口；在反应段下面设置有三氯氢硅入口。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是在反应段和提馏段之间设置有部分冷凝中段；在中段上设置有中段冷凝液入口和中段冷凝液出口。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征是所述的结构催化剂是将催化剂填于耐腐蚀工业布袋中，与波纹填料间隔成卷制得，装填于反应精馏塔中。