[实用新型]一种差压传感器静态性能检测装置

说明书

技术领域

本发明创造属于传感器技术领域，具体涉及一种能够对差压传感器静态性能进行准确检测的装置。

背景技术

差压传感器DPS(DifferentialPressureSensor)是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，在微流量测量、泄漏测试、洁净间监测、环境密封性检查、气体流量测量等许多高精度测量场合都有着广泛应用。常用的差压传感器内部通常由弹性膜片分为两个腔室，当进入两个腔室的流体具有压力差时，将会引起弹性膜片的形变，进而导致光、电等信号发生变化，通过对变化的信号进行分析获得压力差信息。

差压传感器静态性能指标是评判一个差压传感器性能的基本标准，其指标包含满量程输出值、非线性度、迟滞、重复性、精确度、灵敏度。在检测过程中需要给传感器施加从零压力点到满量程压力点的指定测试压力，并记录基准传感器的压力值及其相对应的输出信号，然后再从正压满量程释放压力至零点，并同样记录相应的数据，以上一次检测过程称为一次正压测试环节；然后再对传感器施加负向压力，并记录基准传感器的压力值及其相对应的输出信号，然后再从负压满量程释放压力至零点，并同样记录相应的数据。以上一次检测过程称为一次负压测试环节，一次负压检测环节与一次正压检测环节称为一次检测循环。而往往为了提高其数据的可靠性，需要3-5次以上循环。最终在根据所记录下来的数据，计算出差压传感器的各项性能指标。检测一个传感器需要约45min。

现有的上述差压传感器静态性能监测技术具有如下缺陷：

1、如果被检测的传感器数量较多，现有技术方案将耗时较多，且需要安排人员长时间检测。

2、由于泄漏因素的存在，人工同时读取基准压力传感器的信号与被测压力传感器的信号时存在输出压力值与实际压力值不一致的可能性。对检测精度有所影响。

发明内容

本发明创造为解决现有技术中的问题，提供了一种差压传感器静态性能检测装置，具有检测效率和检测精度高的优势。

本发明创造提供的一种差压传感器静态性能检测装置，包括造压支路和参比支路，所述造压支路包括依次连接的电磁阀A和受所述电磁阀A控制的气控阀A，所述造压支路还包括设有活塞的活塞支路，所述参比支路包括依次连接的电磁阀B和受所述电磁阀B控制的气控阀B；还包括相互并联的待测差压传感器接入位点以及基准传感器接入位点，所述气控阀A能够分别通过所述待测差压传感器接入位点和基准传感器接入位点同时与待测差压传感器的一个腔室以及基准传感器的一个腔室连通，所述气控阀B能够分别通过所述待测差压传感器接入位点和基准传感器接入位点同时与待测差压传感器的另一个腔室以及基准传感器的另一个腔室连通；所述活塞支路连接于所述气控阀A与所述待测差压传感器接入位点和/或基准传感器接入位点之间。

其中，所述待测差压传感器接入位点和基准传感器接入位点分别用于接入不同型号或量程的待测差压传感器和基准传感器。所述待测差压传感器接入位点和基准传感器接入位点可分别设有与待测差压传感器和基准传感器的各个腔室连通的接口，并通过接口使气控阀A和气控阀B分别实现与其各自相应的目标腔室连接的目的；进一步，所述待测差压传感器接入位点和基准传感器接入位点还分别设有与待测差压传感器和基准传感器的信号输出端连接的端口，并通过端口将相应的待测差压传感器和基准传感器的信号输出。其中，所述基准传感器能够通过预先校准或预设等方式，在检测过程中提供标准的实测信号或预设信号，即提供用于对待测差压传感器进行静态性能指标评价的基准值。

进一步，所述活塞连接有电机，且在电机驱动下进行往复运动。

进一步，所述差压传感器静态性能检测装置还设有控制系统，所述控制系统分别与所述电磁阀A、电磁阀B、待测差压传感器接入位点、基准传感器接入位点、和电机中的一个或多个连接，用于实现对相应信号的采集和/或相应部件的控制。其中，所述控制系统分别通过待测差压传感器接入位点和/或基准传感器接入位点的端口与待测差压传感器和/或基准传感器的信号输出端连接，采集相应的输出信号；该输出信号既可以包括待测差压传感器和基准传感器在检测过程中任一相同时刻实时采集的实测信号，也可以包括根据预设方式在预设条件下采集的待测差压传感器的实测信号以及基准传感器的预设信号；所述控制系统还能够根据预设程序和/或采集的信号分别控制所述电磁阀A、电磁阀B、和/或电机的开闭以及运行状况。

其中，所述造压支路上的气控阀A为常闭气控阀；进一步，所述参比支路上的气控阀B为常开气控阀。