[实用新型]智能真空排气台

权利要求书

1.一种智能真空排气台，其特征在于，它包括：

PLC控制器(1)，所述PLC控制器(1)内设置有真空设定值；

真空传感器(2)，所述真空传感器(2)安装在需抽真空系统(3)的抽真空管路中，并且真空传感器(2)用于采集需抽真空系统(3)内的压力信号并将其转换成电流信号输出至PLC控制器(1)；

真空泵(4)，所述真空泵(4)内设置有驱动真空泵(4)工作的真空泵变频电机；

真空泵变频器(5)，所述真空泵变频器(5)的频率反馈信号输出到PLC控制器(1)，PLC控制器(1)将真空传感器(2)所传递的电流信号处理后输出控制信号给真空泵变频器(5)，远程调节信号控制真空泵变频电机的转速；

还包括罗茨泵(6)、罗茨泵变频器和旁通阀(7)，所述罗茨泵(6)内设置有驱动罗茨泵(6)工作的罗茨泵变频电机，所述罗茨泵(6)的抽真空口与需抽真空系统(3)相连通，所述罗茨泵变频器的频率反馈信号输出到PLC控制器(1)，PLC控制器(1)将真空传感器(2)所传递的电流信号处理后输出控制信号给罗茨泵变频器，远程调节信号控制罗茨泵变频电机的转速；当需抽真空系统(3)的真空绝对压力大于真空设定值时，旁通阀(7)为开启状态，罗茨泵(6)为关闭状态，通过真空泵(4)和旁通阀(7)连接到需抽真空系统(3)中；当需抽真空系统(3)的真空绝对压力小于真空设定值时，旁通阀(7)为关闭状态，罗茨泵(6)为启动状态，通过真空泵(4)和罗茨泵(6)连接到需抽真空系统(3)中。

2.根据权利要求1所述的智能真空排气台，其特征在于：还包括充气阀(8)，所述充气阀(8)的一端与外部大气相通，另一端分别与罗茨泵(6)的抽真空口和真空泵(4)的抽真空口相连通。

3.根据权利要求2所述的智能真空排气台，其特征在于：所述的充气阀(8)的控制输入端与PLC控制器(1)的控制输出端相连接以便PLC控制器(1)控制充气阀(8)的启闭。

4.根据权利要求1或2或3所述的智能真空排气台，其特征在于：所述的设定值真空设定值为1KPa。

5.根据权利要求1所述的智能真空排气台，其特征在于：所述的真空泵(4)的抽真空口处还连接有压差式充气阀(9)。

6.根据权利要求5所述的智能真空排气台，其特征在于：所述压差式充气阀(9)的控制输入端与PLC控制器(1)的控制输出端相连接以便PLC控制器(1)控制压差式充气阀(9)的启闭。

7.根据权利要求1所述的智能真空排气台，其特征在于：所述需抽真空系统(3)的抽真空进口与抽真空管路之间还连接在真空阀(10)。

8.根据权利要求7所述的智能真空排气台，其特征在于：所述真空阀(10)的控制输入端与PLC控制器(1)的控制输出端相连接以便PLC控制器(1)控制真空阀(10)的启闭。