[实用新型]一种偏角度切割组合式工件夹具

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体晶圆硅片加工技术领域，主要涉及一种偏角度切割组合式工件夹具。

背景技术

线切割机在半导体行业硅片切割中占据绝大部分比例，随着国内6英寸半导体晶圆硅片市场的不断扩大，线切割机在加工中更显得重要，特别是线切割使用的晶托，由于结构所限，造成6英寸<111>偏4度晶向的晶棒在多线切割上无法进行切割。通常，晶棒通过树脂板粘接在工件板的粘接面上，工件板和燕尾工件板夹具连接在一起，并装夹在设备的燕尾槽中，在线切割的高速线网进行切割，实现由晶棒到硅片的过程。但是在实际使用中，由于目前6英寸<111>偏4度晶向的产品越来越多，而且晶棒是倾斜粘接，所以在现有多线切割上无法进行切割，切割中当晶棒切割到线网下时，晶棒的一端会碰到线网下接料盒的端面，造成切割设备过载报警或者整支晶棒的破碎和报废。

实用新型内容

鉴于目前现有技术中所存在的技术问题，本实用新型设计并公开了一种偏角度切割组合式工件夹具，通过对晶托和燕尾槽的重新设计，用以解决现有晶托切割工艺中出现的6英寸<111>偏4度等技术难点问题。

为实现上述发明目的，本实用新型采取的具体技术方案是：一种偏角度切割组合式工件夹具，主要由工件板、晶托、燕尾棱夹具、顶丝、斜铁、燕尾槽构成；工件板通过内六方螺丝和晶托连接到一起，连接工件板的晶托安装在燕尾棱夹具上，斜铁通过顶丝压紧晶托和燕尾槽，使晶托和燕尾棱夹具上的燕尾槽紧密贴合在一起；燕尾槽通过内六方螺丝与切割设备的进给机构连接。所述的一种偏角度切割组合式工件夹具，其中工件板为工字型结构设计；所述的一种偏角度切割组合式工件夹具，其中晶托的底部呈“L”型，顶部为燕尾棱型结构。

本实用新型所述的一种偏角度切割组合式工件夹具，解决了传统线切割无法实现6英寸偏角度切割的问题，底部呈“L”型，顶部为燕尾棱型结构设计的晶托解决了切割中当晶棒切割到线网下时，晶棒的一端会碰到线网下接料盒的端面，造成切割设备过载报警或者整支晶棒的破碎和报废等问题。本实用新型实现了6英寸晶棒偏角度粘接切割，提高了设备的使用率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1、工件板；2、晶托；3、顶丝；4、斜铁；5、燕尾槽；6、燕尾棱夹具；7、进给机构。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：

如图1所示，本实用新型所述的一种偏角度切割组合式工件夹具主要是由工件板1、晶托2、顶丝3、斜铁4、燕尾槽5、燕尾棱夹具6构成，其中，工字型结构工件板1通过内六方螺丝与底部呈“L”型、顶部为燕尾棱型结构设计的晶托2连接在一起；晶托2安装在燕尾棱夹具6上，斜铁4通过顶丝3压紧晶托2和燕尾槽5，使晶托2和燕尾槽5紧密配合在一起，燕尾槽5采用内六方螺丝与设备的进给机构7连接。通过重新设计的工字型工件板1和底部呈“L”型、顶部为燕尾棱型结构的晶托2，晶棒可以在工件板1底部偏角度粘接，实现6英寸及以下尺寸晶棒偏角度切割的需要，解决了切割中当晶棒切割到线网下时，晶棒的一端会碰到线网下接料盒的端面，造成切割设备过载报警或者整支晶棒的破碎、报废等问题。