[实用新型]一种类平面整体式全柔性并联微定位机构

权利要求书

1.一种类平面整体式全柔性并联微定位机构，其特征在于：三条相同的全柔性支链(3)成对称形式分布在定平台(1)上且每条支链均与相邻支链成120°，与定平台(1)成4°的微小角度，构成具有类平面特性的全柔性铰链；微动平台(2)安装在三条全柔性支链(3)的输出端(4)上，精密操作器固定在微动平台(2)的中心位置；全柔性支链(3)是通过先进切割技术整体切割而成，使其形成具有柔性铰链和柔性连杆的类平面整体式全柔性铰链；全柔性支链(3)由三个柔性转动副(5)(6)(7)和一个柔性移动副(8)组成且左右对称分布，柔性转动副(5)为全柔性支链(3)的始端，其一端与定平台(1)相连，另一端与柔性移动副(8)相连；柔性转动副(7)为全柔性支链(3)的末端，其一端连接输出端(4)，另一端连接柔性转动副(6)。

2.根据权利要求1所描述的类平面整体式全柔性并联微定位机构，其特征在于：压电陶瓷驱动器放置在定位槽(9)内，其通过驱动柔性移动副(8)，经柔性连杆和柔性转动副(5)(6)(7)，将微运动传递到输出端(4)。螺栓孔(10)用于固定定平台(1)。