[实用新型]一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，属于化工设备领域。

背景技术

高纯金属有机化合物(简称为“MO”源)是制造LED、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等的核心原材料之一。

“MO”源系列物本身化学性质的限制-遇水氧发生剧烈反应的特性，所以对于包装容器(钢瓶)的密闭性以及水氧含量的要求非常高。一旦在钢瓶中混有高于1PPm的水氧，则会严重影响“MO”源系列物的品质，如果是钢瓶的瓶体或者阀门存在高于4*10^-9Pa·m³/s的漏率，也会严重影响“MO”源系列物的品种，如果严重的话更会带来很大的危险情况。

目前主要采取的检漏方式通常是氦质谱检漏，但是对于设备中的水含量要求较高，所以设备都会在进行氦质谱检漏前进行粗清洗烘干。同样由于氦质谱检漏也会在检漏过程中带入杂质，使得“MO”源用钢瓶会被污染，所以目前钢瓶在使用前会首先经过粗洗、烘干，然后检漏，待确认没有问题后再进行清洗烘干。现有工艺在时间、周期上都存在很大不方便的地方，且由于各个步骤都是独立过程，在衔接过程中非常有可能会导入新的污染源，从而影响到“MO”源钢瓶的品质，进而影响高纯“MO”源的品质及其在MOCVD上的使用。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型的目的是要提供一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，包括烘箱和检漏干燥管，所述烘箱上设置有氦气入口，所述检漏干燥管贯穿烘箱内部，检漏干燥管一端设置有检漏仪，检漏干燥管另一端设置有真空泵，靠近检漏仪一端的检漏干燥管上设置有氮气入口管，靠近真空泵一端的检漏干燥管上依次设置有干燥柱、水氧检测仪和内漏检测口，所述内漏检测口位于烘箱内部。

进一步，所述检漏干燥管上设置有若干检漏阀，每个检漏阀位于每个钢瓶上端的两个阀门之间。

本实用新型结构合理，在一个装置内可以对高纯金属有机化合物钢瓶进行烘干并检漏，避免了因工序衔接而引入新的污染源，保证了MO”源钢瓶的品质。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。

如图1所示，一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，包括烘箱1和检漏干燥管2，所述烘箱1上设置有氦气入口10，所述检漏干燥管2贯穿烘箱1内部，检漏干燥管2一端设置有检漏仪7，检漏干燥管2另一端设置有真空泵5，靠近检漏仪7一端的检漏干燥管2上设置有氮气入口管6，靠近真空泵5一端的检漏干燥管2上依次设置有干燥柱4、水氧检测仪11和内漏检测口3，所述内漏检测口3位于烘箱1内部，所述检漏干燥管2上设置有若干检漏阀8，每个检漏阀8位于每个钢瓶9上端的两个阀门之间。

烘干：将清洗完成后的钢瓶转移进入此设备体系，通过钢瓶上端两个阀门接口与烘干检漏管连接。首先进行钢瓶烘干，打开钢瓶上端两个阀门使得钢瓶内部空间和整个真空体系相连，通过烘箱尾端-干燥柱前段的水氧检测仪检测水氧含量以确定钢瓶的烘干程度，待水氧检测仪显示体系中水氧含量都低于1PPM时，则说明钢瓶已经烘干达标，可进行检漏程序。

检漏：待烘箱及管道回复常温后关闭氮气进口以及真空系统。首先对钢瓶瓶体以及阀门外部进行检漏，打开钢瓶连接的所有管路，连通检漏仪，打开氦气入口，向烘箱内吹扫氦气，如果发现漏率低于4*10^-9Pa·m³/s，则逐个关闭钢瓶连接管道的阀门，以排查问题钢瓶。如果没有问题则改换管路，进行内漏检测。连接内漏检测口和氦气进气的管路，打开所有检漏阀，关闭所有钢瓶上端的两个阀门，然后按照顺序逐个打开各个钢瓶上端的两个阀门，如果测得漏率低于4*10^-9Pa·m³/s，则说明当时打开的阀门的同一个钢瓶上的另一个阀门有问题，需要单独复检，如漏率仍低于标准值，则说明此阀门内漏。

凡在不脱离本实用新型核心的情况下做出的简单的变形或修改均落入本实用新型的保护范围。