[实用新型]一种太阳能电池扩散尾气控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电池技术领域，尤其涉及一种太阳能电池扩散尾气控制装置。

背景技术

太阳能电池是一种有效地吸收太阳辐射能，利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，当太阳光照在半导体P-N结(P-NJunction)上，形成新的空穴-电子对(V-Epair)，在P-N结电场的作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区，接通电路后就形成电流。由于是利用各种势垒的光生伏特效应将太阳光能转换成电能的固体半导体器件，故又称太阳能电池或光伏电池，是太阳能电池阵电源系统的重要组件。太阳能电池主要有晶硅(Si)电池，三五族半导体电池(GaAs，Cds/Cu2S，Cds/CdTe，Cds/InP，CdTe/Cu2Te)，无机电池，有机电池等，其中晶硅太阳能电池居市场主流主导地位。晶硅太阳能电池的基本材料为纯度达0.999999、电阻率在10欧·厘米以上的P型单晶硅，包括正面绒面、正面p-n结、正面减反射膜、正背面电极等部分。由于PN结是太阳能电池发电的核心，因此如何有效控制磷沉积环境，控制扩散浓度和扩散结深，进而提高电池效率将是一重要课题。

实用新型内容

本实用新型不但克服现有技术的不足，一种结构简单、可以有效提高晶硅太阳能电池的发电效率的扩散反应尾气控制装置。

根据本实用新型实施例的一种太阳能电池扩散尾气控制装置，包括扩散石英炉管、积液瓶和冷凝瓶，所述积液瓶设置在所述扩散石英炉管与所述冷凝瓶的第一端口之间且依次连通，所述冷凝瓶的第二端口通过波纹酸排管连接有酸排管道，所述波纹酸排管上设置有总尾气调节阀；所述冷凝瓶的第三端口连接有氮气管，在接近于所述冷凝瓶的第三端口设置有负压传感器，在氮气管上分别连接有氮气流量控制装置和单向阀。

作为上述方案的改进，所述负压传感器为数显式负压传感器。

作为上述方案的改进，所述负压传感器的测量口径为1/2英寸。

作为上述方案的改进，所述总尾气调节阀口径为1英寸。

作为上述方案的改进，所述氮气流量控制装置为手动阀。

作为上述方案的改进，所述氮气流量控制装置的阀门口径为1/2英寸。

作为上述方案的改进，所述单向阀的阀门口径为1/2英寸。

作为上述方案的改进，所述负压传感器与氮气流量控制装置之间还设有自动控制器。

与现有技术相比，本实用新型所述一种太阳能电池扩散尾气控制装置的有益效果为：

本实用新型的负压传感器可实时测量扩散炉管负压值，通过控制总尾气调节阀和氮气流量控制装置的开度，并能有效的控制尾气压力及有效的控制扩散炉管内反应气场，从而有效的增加磷扩散均匀性，增加了电池发电效率。

附图说明

图1是现有技术的结构示意图；

图2是改进的太阳能电池扩散尾气控制装置的结构示意图；

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图具体描述根据本实用新型实施例的太阳能电池扩散尾气控制装置。

如图1所示，一种太阳能电池扩散尾气处理装置，包括扩散石英炉管1、积液瓶2和冷凝瓶4，所述积液瓶2设置在所述扩散石英炉管1与所述冷凝瓶4的第一端口401之间，由扩散石英炉管1、所述积液瓶2与所述冷凝瓶4依次连通，所述冷凝瓶4的第二端口402通过波纹酸排管5连接有酸排管道3，酸排管道3向冷凝瓶4内加入(什么材料)使尾气负压值降低，但是，无法控制流入量，导致尾气负压值时大时小，不能恒定。

如图2所示，对图1所示的原有处理装置进行改进，一种太阳能电池扩散尾气控制装置，包括扩散石英炉管1、积液瓶2和冷凝瓶4，所述积液瓶2设置在所述扩散石英炉管1与所述冷凝瓶4的第一端口401之间且依次连通，所述冷凝瓶4的第二端口402通过波纹酸排管5连接有酸排管道3，所述波纹酸排管5上设置有总尾气调节阀6；所述冷凝瓶4的第三端口403连接有氮气管9，在接近于所述冷凝瓶4的第三端口403设置有负压传感器7，在氮气管9上分别连接有氮气流量控制装置8和单向阀10。

所述负压传感器7为数显式负压传感器7，方便用户可以读取相关尾气负压值，使用时更直观。所述负压传感器7在于0-100Pa，最小单位0.1Pa，负压传感器7的测量口径为1/2英寸。可实时的检测尾气压力，并可以手动设置，优先55-65Pa。