[实用新型]一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环有效

专利信息
申请号: 201520523118.2 申请日: 2015-07-16
公开(公告)号: CN205000006U 公开(公告)日: 2016-01-27
发明(设计)人: 王东阳;翟剑庞;黄镜蓁 申请(专利权)人: 中山兆龙光电科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 代理人: 吴剑锋
地址: 528400 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 可变 梯度 蓝宝石 生长 坩埚 支撑
【权利要求书】:

1.一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于:包括有能防止坩埚(1)与坩埚盖(2)烧结在一起的支撑环(3),所述支撑环(3)下端与坩埚(1)连接,所述支撑环(3)上端与坩埚盖(2)连接,在所述支撑环(3)与坩埚盖(2)之间设有能调节支撑环(3)与坩埚盖(2)之间缝隙大小的调节(4)。

2.根据权利要求1所述的一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于所述的调节(4)包括有设置在坩埚盖(2)下端面的多个高度相等的凸起点(5),在所述支撑环(3)上端与凸起点(5)对应的圆周位置上设有若干个深度不同的凹陷孔(6)。

3.根据权利要求1所述的一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于所述调节(4)包括有设置在支撑环(3)上端的若干个深度一样的凹陷孔(6),在所述坩埚盖(2)与凹陷孔(6)对应的位置上设有能调节长度的定位柱。

4.根据权利要求2或3所述的一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于所述的支撑环(3)包括有支撑环本体(31),在所述支撑环本体(31)上端外侧边缘上设有上凸起(32),所述上凸起(32)与支撑环(3)上端面形成上定位台阶,所述的凹陷孔(6)设置在所述上定位台阶上,在所述支撑环本体(31)下端外侧边缘上设有下凸起(33),所述下凸起(33)与支撑环(3)下端面形成下定位台阶。

5.根据权利要求4所述的一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于在所述下定位台阶上设有环形凹槽(34),在所述环形凹槽(34)内设有能防止坩埚(1)与支撑环(3)烧结在一起的钽片环(7)。

6.根据权利要求5所述的一种可变梯度蓝宝石单晶生长用坩埚盖及支撑环,其特征在于所述钽片环(7)的厚度为1mm。

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