[实用新型]一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构

权利要求书

1.一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构：从左向右顺着管路方向依次包括泵前手动阀(13)、主泵(10)、模拟信号压差计(14)、球阀(a)、球阀(b)、球阀(c)、球阀(d)、球阀(e)、磷阱(Ⅰ)、磷阱(Ⅱ)、冷凝器、球阀(f)、球阀(g)、球阀(h)、球阀(i)、球阀(j)、尾气处理系统12和加热衣；泵前手阀前端为控制气体流入量的蝶阀，下方为主泵，主泵后方通过三通法兰将泵后截止阀、压差计(14)和球阀(a)连接，球阀(a)又通过三通管与两路磷阱连接，磷阱两端分别设置4个球阀(b)、球阀(c)、球阀(d)、球阀(e)、磷阱后端为球阀(f)、球阀(g)、球阀(h)、球阀(i)，磷阱入口方向分别设置有进水口和出水口通入冷凝器，磷阱后端球阀通过三通汇合成一路，再连接球阀（j）、三通法兰将放空线和尾气处理系统连接，最后再将所有主管道加热衣包裹。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：在蝶阀与泵的入口前加入一螺旋手动阀。

3.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：主泵后端有各自可独立拆装的两路磷阱。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：两路磷阱平行放置于MOCVD外侧并以小车的形式设计，方便拆装。

5.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：裸露管道外包可精确控温防火加热衣。

6.根据权利要求5所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：防火加热衣将管道控制在150°~200°的温度范围。

7.根据权利要求1中所述的一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，其特征在于：所述压差计并联安装于两路磷阱的前后端。