[实用新型]一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及到单晶硅衬底片抛光生产领域，具体的说是一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置。

背景技术

化学机械抛光工艺是实现单晶硅衬底片表面平坦化的通用技术手段，在当前的大规模硅抛光片生产中为节约成本，粗抛光液多采用循环使用的方法，为避免抛光液循环使用中给硅片带来划伤及沾污的风险，在循环系统中大多数厂家会加装过滤器对循环的粗抛光加以过滤后再使用。

粗抛液为细小磨粒二氧化硅胶体，遇空气易结晶，同时抛光硅片过程中产生的生成物等这样颗粒在循环使用中会不断的堵塞纤维状的滤芯，会降低滤芯使用寿命，影响抛光液流量，进而造成硅片的去除速率不稳定、平坦度参数不良、抛光雾等缺陷，无法满足大规模高品质硅抛光片生产的需求。

实用新型内容

为解决现有技术中粗抛液滤芯在使用过程中被堵塞进而影响抛光液流量的问题，本实用新型提供了一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置，从而延长滤芯使用寿命，稳定提供抛光液流量，进而解决现有使用方法中滤芯使用寿命短、抛光液流量不稳定、去除速率不稳定、平坦度参数不良、抛光雾的问题。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为：一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置，在装有滤芯的抛光液筒相对的两侧分别设置有带有进液球阀的抛光液进液管和带有排液球阀的抛光液排液管，所述冲洗装置包括高压纯水供应管道以及设置在其末端的高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ，其中，高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ上分别设置有纯水球阀Ⅱ和纯水球阀Ⅰ，且高压纯水支管Ⅱ的另一端连接在抛光液排液管上排液球阀与抛光液筒之间的位置上，高压纯水支管Ⅰ的另一端连接在抛光液进液管上进液球阀与抛光液筒之间的位置上，通过控制纯水球阀Ⅱ、排液球阀、进液球阀和纯水球阀Ⅰ的通断，实现对抛光液筒内滤芯的双向冲洗。

所述高压纯水供应管道的末端设置有三通管，高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ的一端通过该三通管与高压纯水供应管道的末端连接。

有益效果：本实用新型通过在抛光液筒的抛光液进出口管道上连接与高压纯水供应管道连接的高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ，且在抛光液排液管、抛光液进液管、高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ上设置球阀，然后通过控制这四个球阀的开启状态，实现了对抛光液筒内滤芯的冲洗，从而解决了滤芯寿命短、抛光液流量有波动、抛光液供给速率不稳定、平坦度参数不良、抛光雾的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

附图标记：1、高压纯水供应管道，2、高压纯水支管Ⅱ，3、纯水球阀Ⅱ，4、排液球阀，5、抛光液排液管，6、抛光液筒，7、抛光液进液管，8、进液球阀，9、纯水球阀Ⅰ，10、高压纯水支管Ⅰ。

具体实施方式

如图所示，一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置，在装有滤芯的抛光液筒6相对的两侧分别设置有带有进液球阀8的抛光液进液管7和带有排液球阀4的抛光液排液管5，所述冲洗装置包括高压纯水供应管道1以及设置在其末端的高压纯水支管Ⅱ2和高压纯水支管Ⅰ10，在高压纯水供应管道1的末端设置有三通阀，高压纯水支管Ⅱ2和高压纯水支管Ⅰ10的一端通过该三通阀与高压纯水供应管道1的末端连接，其中，高压纯水支管Ⅱ2和高压纯水支管Ⅰ10上分别设置有纯水球阀Ⅱ3和纯水球阀Ⅰ9，且高压纯水支管Ⅱ2的另一端连接在抛光液排液管5上排液球阀4与抛光液筒6之间的位置上，高压纯水支管Ⅰ10的另一端连接在抛光液进液管7上进液球阀8与抛光液筒6之间的位置上，通过控制纯水球阀Ⅱ3、排液球阀4、进液球阀8和纯水球阀Ⅰ9的通断，实现对抛光液筒6内滤芯的双向冲洗。

双向冲洗的方法为：

正向冲洗：关闭进液球阀8和纯水球阀Ⅱ3，打开纯水球阀Ⅰ9和排液球阀4，使高压纯水供应管道1排出的高压纯水经高压纯水支管Ⅰ10和抛光液进液管7对抛光液筒6内的滤芯进行正向冲洗；

反向冲洗：关闭纯水球阀Ⅰ9和排液球阀4，打开进液球阀8和纯水球阀Ⅱ3，使高压纯水供应管道1排出的高压纯水经高压纯水支管Ⅱ2和抛光液排液管5对抛光液筒6内的滤芯进行反向冲洗。