[实用新型]一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆搬运机械手，尤其是涉及一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手。

背景技术

晶圆是制造IC芯片的原料，晶圆经过多道加工工序和测试工序后成为IC芯片，IC芯片经过封装和测试后即为成品。

晶圆盒是晶圆制造过程中必不可少的中间储存和转运装置，在晶圆加工过程中需要多次将晶圆从晶圆盒中取出送往加工位，加工完成后再送回晶圆盒中，这就需要专业的晶圆搬运机械手来完成晶圆的取出和送回，晶圆在各加工位间的转运也需要专业的晶圆搬运机械手来完成。

传统的单爪晶圆搬运机械手将晶圆从晶圆盒中取出后送往加工位，晶圆搬运机械手等待晶圆加工完成才能将晶圆从加工位取下送回晶圆盒并取出下一片待加工的晶圆，晶圆在加工位加工的过程中，晶圆搬运机械手是空闲的，晶圆搬运机械手将加工完成的晶圆送回晶圆盒并取出下一片待加工晶圆的过程中，加工位是空闲的，这样影响了设备的生产效率，降低了设备的产能。

带对位装置的双爪晶圆搬运机械手可以有效地解决上述问题，带对位装置的双爪晶圆搬运机械手在从加工位上取下加工完成的晶圆后，同时放置一片待加工的晶圆到加工位上供加工，减少了设备的等待时间，提高了设备的生产效率，由于在晶圆搬运机械手上增加了对位装置，晶圆搬运机械手的移动更加安全、可靠。

发明内容

本实用新型的目的解决上述传统的单爪晶圆搬运机械手在从加工位上取下加工完成的晶圆后，不能同时放置一片待加工的晶圆到加工位上的缺点，提供一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：

本实用新型包括：晶圆搬运机械手A爪、晶圆搬运机械手B爪、固定板、固定块、A爪传感器座、B爪传感器座、A爪对位传感器、B爪对位传感器，晶圆搬运机械手A爪、晶圆搬运机械手B爪固定在固定板底面上，固定块固定在固定板顶面上并与外界相连，A爪对位传感器通过A爪传感器座、B爪对位传感器通过B爪传感器座分装在固定板顶面的两侧。

本实用新型的优势在于：

1．可以同时对晶圆盒和加工位进行取晶圆和放晶圆的动作，提高了生产效率；

2．增加了A爪对位传感器和B爪对位传感器，可以使得晶圆搬运机械手在和工作位对位准确的情况下实现取晶圆和放晶圆的动作，确保晶圆搬运机械手取晶圆和放晶圆的动作的安全、可靠。

附图说明

图1为本实用新型的一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施进行详细说明：

如图1所示，一种带对位装置的双爪晶圆搬运机械手，该装置包括：晶圆搬运机械手A爪1、晶圆搬运机械手B爪2、固定板3、固定块4、A爪传感器座5、B爪传感器座6、A爪对位传感器7、B爪对位传感器8，晶圆搬运机械手A爪1、晶圆搬运机械手B爪2固定在固定板3底面上，固定块4固定在固定板3顶面上并与外界相连，A爪对位传感器7通过A爪传感器座5、B爪对位传感器8通过B爪传感器座6分装在固定板3顶面的两侧。

本实用新型的工作过程如下：

1．带对位装置的双爪晶圆搬运机械手移动至晶圆盒处，晶圆搬运机械手A爪1从晶圆盒中取出1片待加工的晶圆；

2．带对位装置的双爪晶圆搬运机械手移动至加工位处，B爪对位传感器8检测带对位装置的双爪晶圆搬运机械手与工作位对位准确，晶圆搬运机械手B爪2从工作位上取出加工完成的晶圆；

3．带对位装置的双爪晶圆搬运机械手按设定角度旋转，A爪对位传感器7检测带对位装置的双爪晶圆搬运机械手与工作位对位准确，晶圆搬运机械手A爪1将待加工的晶圆放置到加工位上；

4．带对位装置的双爪晶圆搬运机械手移动至晶圆盒处，晶圆搬运机械手B爪2将加工完成的晶圆送回该晶圆在晶圆盒中原来的取料位置；

5．带对位装置的双爪晶圆搬运机械手按设定角度旋转，晶圆搬运机械手A爪1从晶圆盒中取出下1片待加工的晶圆；

6．重复2~5的步骤，直至所有的晶圆加工完成。