[实用新型]内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器

权利要求书

1.内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，包括介质基底（1）及其表面所附的有狭缝阵列结构的金属膜（1），所述狭缝阵列结构为内嵌矩形腔楔形金属狭缝阵列结构，每个周期的内嵌矩形腔楔形金属狭缝以垂直于金属膜（2）的中分平面左右镜像对称；腔体内部的填充介质（3）为空气，平面光入射方向垂直于金属膜（2）表面；其特征在于：

所述内嵌矩形腔楔形金属狭缝结构每个周期为两个相接的内嵌矩形腔楔形金属狭缝在金属膜（2）的水平中分面上下镜像对称，楔形相接处为楔形的短底边，即狭缝的最窄处。

2.根据权利要求1所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述金属狭缝结构为20～50个周期。

3.根据权利要求1所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述金属狭缝结构在单位周期的宽度T为400～600nm，长度为0.1mm～10mm。

4.根据权利要求3所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述金属膜（2）的厚度H=T。

5.根据权利要求3所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述楔形的长底边的宽度即为狭缝入射口或出射口宽度W，W=（0.4～0.6）T。

6.根据权利要求5所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述楔形的短底边宽度Wmin=（0.2～0.7）W。

7.根据权利要求5所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述内嵌矩形腔腔体的宽度W≤L≤H-50nm，腔体高度D=60～140nm。

8.根据权利要求7所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述上方的楔形内嵌矩形腔腔体的上表面与金属膜（2）上表面的的距离和下方的楔形内嵌矩形腔腔体的下表面与金属膜（2）下表面的的距离均为h，h=30～70nm。

9.根据权利要求1所述的内嵌矩形腔镜像对称楔形金属狭缝阵列的等离激元滤波器，其特征在于：

所述介质基底（1）为厚度≥400μm的单面二氧化硅抛光硅片，其上二氧化硅膜厚度为≥2μm。