[实用新型]一种基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置

权利要求书

1.一种基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：其包括混合器发生装置和匀流板，混合器发生装置包括臭氧发生器、压缩空气输送管道和混合器；臭氧发生器的臭氧出口通过臭氧输送管道连接混合器，压缩空气通过压缩空气输送管道连接混合器，混合器通过混合气输送管道连接混和气输出端；混合器输出端连接在匀流板的进气口；匀流板内为空心，其一端开有进气口，下端壁上均匀开有多个出气孔；匀流板安装在电池片制作设备的刻蚀装置和PECVD装置之间的硅片传输轨道上方，出气孔正对硅片传输轨道；臭氧发生器上安装有控制臭氧产生量的装置。

2.根据权利要求1所述的基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：所述的压缩空气输送管道上安装有减压阀A和流量计A。

3.根据权利要求1或2所述的基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：所述的臭氧发生器有氧气进口和臭氧出口，氧气通过氧气输送管道连接臭氧发生器的氧气进口，且氧气输送管道上安装有减压阀B和流量计，220V交流电源通过电源开关连接变频器的电源输入端，变频器的电源输出端连接臭氧发生器的电源端口；控制臭氧产生量的装置包括臭氧浓度检测仪和工作环境臭氧浓度检测装置；所述的臭氧浓度检测仪和流量计B串联连接后并联在所述的混合气输送管道上，臭氧浓度检测仪信号输出端连接在所述变频器的一个控制端上，控制变频器功率的输出；工作环境臭氧浓度检测装置的进气端和出气端分别由管道连接工作空间内的环境空气，其信号输出端连接在所述变频器的另一个控制端上和报警器，当环境空气中的臭氧浓度超出安全标准时控制变频器停止工作，并输出报警。

4.根据权利要求3所述的基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：所述的混合器为一负压发生器；负压发生器有三个口，相对的两壁上分别开有的压缩空气进气口和混合气出口，侧壁上开有臭氧进气口；压缩空气通过压缩空气输送管道连接负压发生器的压缩空气进气口，臭氧发生器的臭氧出口通过臭氧输送管道连接负压发生器的臭氧进气口，负压发生器的混合气出口连接混和气输出端。

5.根据权利要求1或2所述的基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：所述的混合器为一负压发生器；负压发生器有三个口，相对的两壁上分别开有的压缩空气进气口和混合气出口，侧壁上开有臭氧进气口；压缩空气通过压缩空气输送管道连接负压发生器的压缩空气进气口，臭氧发生器的臭氧出口通过臭氧输送管道连接负压发生器的臭氧进气口，负压发生器的混合气出口连接混和气输出端。