[实用新型]多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚有效
| 申请号： | 201520545783.1 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN204874821U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 芮敏之 | 申请（专利权）人： | 美尔森先进石墨（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德;段新颖 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 高效能 石墨 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚，其特征在于：包括底板(1)和四个侧板(2)，所述底板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部，所述侧板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内顶部，四个侧板首尾相接形成一方筒，所述方筒的底部开口置于所述底板上侧，每个所述侧板的外侧设有一层保温层(3)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚，其特征在于：每个侧板的一侧设有上下间隔排布的若干腰型槽(21)，另一侧设有若干连接孔(22)，四个侧板首尾相接时，一个侧板的连接孔正对相邻侧板的腰型槽，所述连接孔与对应的腰型槽通过碳碳螺丝(4)连接。
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