[实用新型]一种超高灵敏度检漏设备

权利要求书

1.一种超高灵敏度检漏设备，包括

检漏室（1），具有容纳空间，用于容置待检工件；

分子泵（2），与所述检漏室（1）连通，用于对所述检漏室（1）进行抽真空，在所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通的管路上设有第一阀门（F1）；

前级泵（3），通过所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通，用于在所述分子泵（2）对所述检漏室（1）抽真空之前，先对所述检漏室（1）进行预抽；

四极质谱仪（4），与所述检漏室（1）连通，用于检测所述待检工件的漏率，在所述四极质谱仪（4）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第二阀门（F2）；

其特征在于：还包括与所述检漏室（1）连通的吸气剂泵（5），所述吸气剂泵（5）适于将残留在所述检漏室（1）内的氢气分子向外抽出，且将所述检漏室（1）内部的氦气留存于所述检漏室（1）内，在所述吸气剂泵（5）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第三阀门（F3）。

2.根据权利要求1所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述管路，以及设置在所述管路上的阀门均为全金属结构。

3.根据权利要求2所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述管路为进行内外抛光处理、真空清洗烘干和真空热处理后的管路。

4.根据权利要求2所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述检漏室（1）上还设有用于对所述检漏室（1）的真空度进行测量的真空规。

5.根据权利要求1所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述前级泵（3）为干泵，所述分子泵（2）为无油分子泵。

6.根据权利要求5所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：还包括与检漏室（1）连通的标准漏孔（6）。

7.根据权利要求6所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：还包括与所述检漏室（1）连通的进气口（7），以及设置在所述进气口（7）前方的过滤器（8）。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述检漏室（1）安装于机柜（92）上，其包括检漏室本体以及密封连接于所述检漏室本体上的上盖（11），所述上盖（11）通过滑轮提升机构实现所述检漏室（1）的密封与打开。

9.根据权利要求8所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：所述滑轮提升机构包括，固定于所述机柜（92）上的固定柱（91），所述固定柱（91）顶部设有定滑轮（94）；可上下移动地套设在所述固定柱（91）上的套筒（93），所述套筒（93）与所述上盖（11）固定连接；设置于机柜（92）内部的配重块（96），以及设置于所述定滑轮（94）上的吊绳（95），所述吊绳（95）一端与所述上盖（11）或所述套筒（93）或固定连接所述上盖（11）和所述套筒（93）的连接结构固定连接，另一端与所述配重块（96）连接。

10.根据权利要求9所述的超高灵敏度检漏设备，其特征在于：还包括设在所述机柜（92）内部、且具有上开口的限位筒（97），所述限位筒（97）用于容纳所述配重块（96），防止所述配重块（96）大幅度摆动。