[实用新型]一种测量球面表面瑕疵的装置有效
申请号: | 201520548557.9 | 申请日: | 2015-07-27 |
公开(公告)号: | CN204855398U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 陆惠宗 | 申请(专利权)人: | 无锡迈福光学科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 周舟 |
地址: | 214213 江苏省无锡市宜兴经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 球面 表面 瑕疵 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种测量装置,特别是涉及一种球面瑕疵的测量装置。
背景技术
目前在对较大面积光滑表面的微缺陷检测方面缺乏快速有效地方法。现有的基于机器视觉的检测方法存在检测速度慢,对微小缺陷灵敏度低等的缺点,无法满足工业生产中对微小缺陷的在线检测需求;而采用激光散射方法可非常灵敏及快速地检测光滑表面的微小瑕疵。采用远心扫描镜将一束激光束以正入射的方法聚焦到被测表面,可有效检测由表面瑕疵产生的散射光。但这种方法只适合于检测平面表面上的瑕疵,有待改进。
发明内容
本实用新型针对现有技术的不足,提供了一种结构简单,操作便利,检测精度高的测量球面表面瑕疵的装置。
为实现本实用新型目的,提供了以下技术方案:一种测量球面表面瑕疵的装置,其特征在于包括支架,支架上设置有激光器、激光器一侧设置有探测器、支架上设置有转子平台,转子平台上设置有xy微调装置,xy微调装置位于激光器正下方,所述转子平台包括水平台面以及固定于水平台面底端的旋转轴,旋转轴末端设置有大齿轮,大齿轮与电机主轴上的小齿轮啮合,xy微调装置固定于水平台面上,与水平台面相互水平,所述xy微调装置包括滑动平台、固定夹具、X轴导轨、Y轴导轨,X轴导轨设置于水平台面上,滑动平台底端设置有滑动块,滑动块与X轴导轨滑动连接,带动滑动平台沿X轴滑动,所述滑动平台表面设置有Y轴导轨,固定夹具底端设置有滑动块,滑动块与Y轴导轨滑动连接,带动滑动平台沿Y轴滑动,滑动平台和固定夹具一侧均设置有液压缸,液压缸活塞杆与滑动平台和固定夹具固接。
作为优选,固定夹具包括基体,基体底面开设有圆弧型槽口,槽口中心开设有通孔,通孔内设置有抽真空管,抽真空管端部设置有吸盘。
本实用新型有益效果:本实用新型实现多角度全方面调节检测物体的位置和角度,大大简化了操作步骤和流程,提高了测量精度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为xy微调装置结构示意图。
具体实施方式
实施例1:一种测量球面表面瑕疵的装置,包括支架1,支架1上设置有激光器2、激光器2一侧设置有探测器3、支架1上设置有转子平台3,转子平台3上设置有xy微调装置4,xy微调装置4位于激光器2正下方,所述转子平台3包括水平台面3.1以及固定于水平台面3.1底端的旋转轴3.2,旋转轴3.2末端设置有大齿轮3.3,大齿轮3.3与电机3.4主轴上的小齿轮3.5啮合,xy微调装置4固定于水平台面3.1上,与水平台面3.1相互水平,所述xy微调装置4包括滑动平台4.1、固定夹具4.2、X轴导轨4.3、Y轴导轨4.4,X轴导轨4.3设置于水平台面3.1上,滑动平台4.1底端设置有滑动块5,滑动块5与X轴导轨4.3滑动连接,带动滑动平台4.1沿X轴滑动,所述滑动平台4.1表面设置有Y轴导轨4.4,固定夹具4.2底端设置有滑动块5,滑动块5与Y轴导轨4.4滑动连接,带动滑动平台4.1沿Y轴滑动,滑动平台4.1和固定夹具4.2一侧均设置有液压缸5,液压缸6活塞杆与滑动平台4.1和固定夹具4.2固接。固定夹具4.2包括基体,基体底面开设有圆弧型槽口4.2.1,槽口4.2.1中心开设有通孔,通孔内设置有抽真空管7,抽真空管7端部设置有吸盘8。
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