[实用新型]单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置

权利要求书

1.一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：包括主罐体(1)、主罐体上盖(2)、提升架(6)、丝杆升降器(7)、储气罐(11)、进出口管道组件(13)、毛刷(19)、毛刷固定架(20)；所述主罐体上盖(2)设有动力机构，该机构包含电机(3)、磁性联轴(5),电机(3)与磁性联轴器(5)通过同步带(4)连接，磁性联轴器(5)与主罐体上盖(2)连接，磁性联轴器主轴(21)直接伸入罐内与毛刷固定架(20)连接，毛刷(19)分别安装在毛刷固定架(20)上；所述主罐体(1)与丝杆升降器(7)连接，提升架(6)与丝杆升降器(7)连接，主罐体上盖(2)与提升架(6)连接；所述储气罐(11)与脉冲阀(12)连接，脉冲阀(12)与主罐体(1)之间通过波纹管(14)连接；所述进出口管道组件包含出气接口(10)、进气接口(15)、截止阀(16)、备用应急接口(17)，进气接口(15)与单晶炉连接，出气接口(10)与真空泵连接。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述磁性联轴器(5)与主罐体上盖(2)之间通过密封圈连接，磁性联轴器(5)内部为非接触式连接，有效防止除尘装置真空泄漏。

3.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述毛刷固定架(20)结构呈三等分均匀分开，3个毛刷(19)分别安装在毛刷固定架(20)上，毛刷(19)的位置前后上下可做调整。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述波纹管(14)直接通入滤芯(18)内部，通过脉冲阀控制(12)不间断放气喷吹。

5.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述主罐体(1)设有粉尘清理出口(9)，该出口位于主罐体(1)下端，数量至少为两个。

6.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述主罐体(1)设有观察窗口(6)，该窗口位于主罐体(1)中部和下部，4个均匀相对交错分布，观察窗口(8)的数量为4个。

7.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：所述进出口管道组件设有备用应急出口(17)，备用应急出口(17)可与备用自动清灰除尘罐，所述进出口管道组件中打开相应的截止阀(16)，单晶炉可直接与真空泵连接。