[实用新型]微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置

权利要求书

1.一种微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置，其特征在于：所述的压痕精密驱动和位移检测均由y向封装压电陶瓷(14)完成，压痕载荷信号采集由力传感器(16)完成，根据曲线拟合原理画出实际压痕的载荷位移曲线；通过氮化硅加热元件(21)对被测试件(19)加热可以得到高温下的压痕载荷位移曲线。

2.根据权利要求1所述的一种微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置，其特征在于：所述的刻划精密驱动由z向封装压电陶瓷(24)完成，通过扫描电镜可以实时观测被测试件在载荷力作用下的变形、损伤状况。

3.根据权利要求1所述的一种微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置，其特征在于：所述加热单元是由氮化硅加入元件(21)组成，通过氮化硅加热元件(21)对被测试件(19)加热可以得到高温下的压痕载荷位移曲线也可以通过刻划被测试件实时观测高温下材料的变形、损伤状况。