[实用新型]一种与制程设备配合的进气装置

权利要求书

1.一种与制程设备配合的进气装置，其特征在于，包括外壳体(1)、进气口(2)和出气口(3)，所述外壳体(1)设于制程设备(4)的制程区域(41)上方，所述出气口(3)同时与外壳体(1)和制程区域(41)连通，所述出气口(3)靠近所述制程区域(41)的观察区(42)，所述进气口(2)与外壳体(1)连通，并且偏离出气口(3)的正上方区域。

2.如权利要求1所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述出气口(3)和进气口(2)的数量为一个或多个，所述出气口(3)设于外壳体(1)的下表面，所述进气口(2)设于外壳体(1)的上表面，所述进气口(2)处设有用于过滤进气的过滤棉(5)。

3.如权利要求1所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(1)内设有照明装置(6)，所述外壳体(1)下表面为透光结构，所述照明装置(6)发出的光透过外壳体(1)的下表面进入所述制程区域(41)。

4.如权利要求3所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(1)内部设有至少一个加强杆(71)及一个或多个支撑板(72)，所述支撑板(72)平行设置，所述支撑板(72)上设有供加强杆(71)穿过的通孔，所述加强杆(71)依次穿过支撑板(72)的通孔，所述加强杆(71)的两端分别抵住外壳体(1)的两端。

5.如权利要求4所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，相邻的支撑板(72)之间的区域内设有至少一个照明装置(6)，所述照明装置(6)为LED灯，所述LED的供电灯座设于LED灯的上方，所述LED灯向下发光。

6.如权利要求4所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(1)的上表面为弧形结构，所述外壳体(1)的上表面设有弧形盖板(11)，外壳体(1)的两端设有与所述支撑板(72)平行的壁板(12)，所述弧形盖板(11)和壁板(12)均为不透光结构。

7.如权利要求5所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述透光结构为设于所述外壳体(1)下表面的透光板，所述透光板的数量为多个，所述透光板分别设于LED灯的下方，或者，所述透光板拼接成外壳体(1)下表面的底板。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(1)通过出气口(3)向制程区域(41)内排入的气体为新鲜空气，所述制程区域(41)内在远离观察区(42)的区域设有废气口，所述出气口(3)向制程区域(41)排进新鲜空气，进而使制程区域(41)内产生的酸气废气从废气口排出。

9.如权利要求8所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，还设有管状的排气管，所述出气口(3)与排气管的一端连接，所述排气管的另一端设有扁宽形的喷嘴，所述喷嘴靠近并朝向所述观察区(42)。

10.如权利要求4、5、6或7所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述支撑板(72)上设有通孔(73)，所述通孔(73)用于握持支撑板(72)进行安装入所述外壳体(1)，并用于流通所述外壳体(1)内的气体。