[实用新型]一种一体式陶瓷电容压力传感器有效
| 申请号： | 201520562508.0 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN204831646U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 赵兴奎;周宇波 | 申请（专利权）人： | 湖北美标中芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 襄阳嘉琛知识产权事务所 42217 | 代理人： | 严崇姚;潘文建 |
| 地址： | 441000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 体式 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
1.一种一体式陶瓷电容压力传感器，包括弹性薄基板（1）、厚基板（3），弹性薄基板（1）上设有薄基板金属电极（7）和薄基板电极焊盘（6），厚基板（3）上设有厚基板金属电极（10）、环形金属电极（11）、环形金属电极焊盘（13）、厚基板电极焊盘（12）、薄基板引线焊盘（14），厚基板电极焊盘（12）、环形金属电极焊盘（13）和薄基板引线焊盘（14）上均设有引线过孔（15），其特征在于：还包括设置在弹性薄基板（1）与厚基板（3）之间的间隙隔离片（17）；间隙隔离片（17）设有3个与引线过孔（15）对应的引线和焊盘过孔（18）；弹性薄基板（1）、厚基板（3）和间隙隔离片（17）均由流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板（1）、间隙隔离片（17）和厚基板（3）经热压和热等静压压合后再经烧结成型为一体式压力传感器基体（5）。
2.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述的弹性薄基板（1）为圆形，厚度为0.3~0.8mm，薄基板金属电极（7）和薄基板电极焊盘（6）的厚度为0.5~1μm；厚基板（3）为圆形，厚度为3~8mm，厚基板金属电极（10）和环形金属电极（11）的厚度为0.5~1μm；间隙隔离片（17）为圆环形，厚度为20~60μm。
3.根据权利要求1或2所述的一种一体式陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述的引线过孔（15）和引线和焊盘过孔（18）内设有引线和导电胶。
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