[实用新型]用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制备领域。更具体地，本实用新型涉及一种用于传送薄板的桥接构件以及包括其的薄板传送装置。

背景技术

在半导体制备的湿制程作业期间，薄板(本文所述的薄板通常指板厚在0.15毫米以下的薄板，尤指板厚在0.06毫米以下的超薄板)随着传动轴的不停转动而向前移动。如图1所示，位于传动轴10、20之间的喷头30a以及位于传动轴10、20相对侧的喷头30b、30c分别将处理液体从薄板40的下方和上方垂直地喷向薄板40以对其进行清洗或蚀刻作业。但是，由于薄板(或超薄板)相对较薄，处理液体的喷射会使得薄板的与液体接触的位置承受较大压力，喷射后残留在薄板上的部分处理液体也会使薄板出现受力不均的情况，这都会导致薄板产生不期望的翘曲(例如，薄板表面凹凸不平或薄板边部下垂(参见图1的40a)等)，发生翘曲的薄板又容易卡在喷头处无法继续行进(“卡板”)而导致整个作业流水线的瘫痪。另外，若传动轴之间的间距较大，特别是在两槽体之间连接处的传动轴之间间距较大,将会加剧卡板现象的发生。

为了避免上述情况，现有技术通常采用的解决方式是在薄板传送方向的前进端设置一相对较厚的带板，该带板通过胶带与薄板连接。由于带板较厚，不易受处理液体的影响而产生形变，从而可以带动薄板顺利地在传动轴之间行进，这解决了卡板问题。但是，胶带内残存的药液容易渗出而腐蚀薄板的铜线路，这严重影响薄板的品质。另外，附接和剥离带板的操作也可能使薄板发生破裂，影响生产效率。

因此，本领域需要一种既能够防止薄板发生卡板又不会由于附接带板而对薄板品质产生额外风险的装置。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于传送薄板的桥接构件，其包括：支撑部件，其包括用于支撑所述薄板从其上通过的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述支撑部件包括位于所述上表面一侧的第一端和与所述第一端相对的第二端；第一固定部件，其连接至所述第一端并被构造为能够将所述桥接构件固定至第一传动轴。

本实用新型进一步提供一种薄板传送装置，其包括：多个传动轴，所述传动轴包括花滚轮结构，以及如上所述的桥接构件，所述桥接构件设置在相邻的至少两个所述传动轴之间，且所述桥接构件的上表面与所述传动轴的最顶端平齐。

藉此，本实用新型的桥接构件以及包括其的传送装置能够防止薄板发生卡板又不会对薄板的品质产生不良影响。桥接构件的制造简单、成本低廉、效果显著，适合大规模应用于薄板的湿制程作业。

附图说明

图1示出了传送薄板的机构的示意图。

图2示出了根据本实用新型一个实施例的用于传送薄板的桥接构件的示意图。

图3示出了根据本实用新型另一实施例的用于传送薄板的桥接构件的另一示意图。

图4示出了根据本实用新型又一实施例的用于传送薄板的桥接构件的安装示意图。

具体实施方式

如下，将更详细地描述本实用新型的用于薄板传动的桥接构件。本实用新型的桥接构件设置为桥接相邻的至少两个传动轴以使其上的薄板能够顺利通过这些传动轴。

如图2所示，桥接构件100包括支撑部件101。其中，支撑部件101包括用于支撑薄板从其上通过的上表面1011和与所述上表面1011相对的下表面1012。支撑部件101还包括位于所述上表面1011一侧的第一端1013和与所述第一端1013相对的第二端1014。

桥接构件100进一步包括第一固定部件102。第一固定部件102连接至支撑部件101的第一端1013并被构造为将所述桥接构件100固定至第一传动轴。本领域技术人员可以理解，可以采用任何方式来实现第一固定部件102和支撑部件101之间的连接，只要保证薄板能够顺利地在桥接构件上行进即可。例如，第一固定部件102的上部与支撑部件101的第一端1013一体成型从而实现平滑的无缝连接。第一固定部件102的下部被构造为具有开口1021以与第一传动轴的外轮廓相匹配从而使第一固定部件102卡和至第一传动轴。在一个优选的实施例中，为了保证薄板在桥接部件上平稳传送，所述开口1021被构造为其内径稍大于所匹配的第一传动轴的外径的弧形开口或半圆形开口。进一步地，该弧形开口或半圆形开口的两侧的最前端还各自包括向下或略向内延伸的延长段1022以保证桥接构件100不会由于传动轴的转动而轻易脱落。