[实用新型]一种直供冲水的湿法插片机有效
申请号: | 201520565643.0 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN204809245U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 荆新杰;刘巍;李宁;李佩剑;韩庆辉;周为贞;牛猛;朱瑞忠 | 申请(专利权)人: | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 065201 河北省廊坊市三河市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冲水 湿法 插片机 | ||
1.一种直供冲水的湿法插片机,其特征在于:包括
中转水槽(3),所述中转水槽(3)内上端一侧设置有进水管道(5),所述进水管道(5)延伸到中转水槽(3)内的部分连接有用于测水位的漂浮阀门(6),所述中转水槽(3)内下端设置有过滤器(4);
硅片水槽(13),所述硅片水槽(13)内一侧设置有可上、下移动的硅片篮(10),所述硅片篮(10)内放置有硅片(11),所述硅片篮(10)的近上端设置有用于传送硅片(11)的吸附传输机构,所述吸附传输机构包括一级传送带(8)和用于将硅片(11)吸附到一级传送带(8)上的吸附装置(9);
所述中转水槽(3)内的过滤器(4)通过第一连接水管(14)连接离心水泵(1),所述离心水泵(1)通过第二连接水管(15)连通到硅片水槽(13)内,所述第二连接水管(15)连通到硅片水槽(13)内的一端连接有喷头(12)。
2.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述一级传送带(8)一端位于硅片篮(10)上方,另一端设置有二级传送带(7)。
3.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述喷头(12)的喷水方向朝向硅片篮(10)内的硅片(11)。
4.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述过滤器(4)和离心水泵(1)之间的第一连接水管(14)上设置有单向阀(2),满足中转水槽(3)的高度低于硅片水槽(13)位置时的安装。
5.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述第一连接水管(14)与中转水槽(3)的连接处设置有防止漏水的密封圈。
6.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述第二连接水管(15)与硅片水槽(13)的连接处设置有防止漏水的密封圈。
7.根据权利要求1所述的直供冲水的湿法插片机,其特征在于:所述中转水槽(3)的上部分有开口结构,与大气相通。
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