[实用新型]一种晶圆盒运送系统

权利要求书

1.一种晶圆盒运送系统，包括：

晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；

搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；

晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；

其特征在于：

所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述颗粒清除装置包括调节杆、吸尘部及真空气路；所述调节杆连接于所述机械手，用于调节所述颗粒清除装置的位置；所述吸尘部与所述调节杆连接；所述真空气路与所述吸尘部连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部包括入尘口，所述入尘口端部设有毛刷。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述入尘口端部为喇叭形。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部内侧壁设有若干凸起部。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述凸起部为直线条状或曲线条状。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：各凸起部之间平行排列或交错排列。

8.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部还包括一过滤罩。

9.根据权利要求2所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述吸尘部内部还设有用于感应所述吸尘部内部积尘程度的重物感应装置。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述重物感应装置包括与所述吸尘部内侧壁连接的侧墙，所述侧墙围成一容置空间，该容置空间内设有一感应游丝弹簧，所述感应游丝弹簧一端与所述侧墙连接，另一端与一感应触头连接；所述侧墙上设有一可容许所述感应触头进出的开口。

11.根据权利要求1所述的晶圆盒运送系统，其特征在于：所述颗粒清除装置连接于所述机械手外侧。