[实用新型]倾角传感器敏感头结构及其信号处理电路

权利要求书

1.一种倾角传感器敏感头结构，其特征在于，包括：

铍铜振动元件，设置于所述敏感头结构的中间层，包括：铍青铜外框，铍青铜弹性梁，铍青铜质量块，其中，所述铍青铜质量块通过所述铍青铜弹性梁与所述铍青铜外框相连接；

敷铜有机板，分别设置于所述铍铜振动元件的上层和下层，其中，上层有机板的下表面与所述铍青铜质量块相对的位置以及下层有机板的上表面与所述铍青铜质量块相对的位置，均敷有铜层，且所述上层有机板和所述下层有机板分别与所述铍青铜质量块之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的倾角传感器敏感头结构，其特征在于，

所述上层有机板上敷铜层焊接有一根电极引线，所述下层有机板上敷铜层焊接有一根电极引线，所述铍铜振动元件上焊接有一根电极引线。

3.根据权利要求1所述的倾角传感器敏感头结构，其特征在于，

在所述上层有机板与所述铍青铜外框之间，以及所述下层有机板与所述铍青铜外框之间均粘结有绝缘衬垫圈。

4.根据权利要求1所述的倾角传感器敏感头结构，其特征在于，

所述上层有机板和所述下层有机板分别与所述铍青铜质量块之间留有的所述间隙均为500μm。

5.一种信号处理电路，应用于权利要求1至4中任一项所述的倾角传感器敏感头结构，其特征在于，包括：

用于供电的稳压电源；

脉冲发生电路，与所述稳压电源相连接，用于输出周期性的矩形波；

电容电压变换电路，与所述脉冲发生电路相连接，包括：敏感头结构，其中，所述敏感头结构的上层有机板上敷铜层和下层有机板上敷铜层焊接的电极引线分别连接至差分放大电路中运算放大器的正负输入端，所述敏感头结构的铍铜振动元件上焊接的电极引线接地；

所述差分放大电路，与所述电容电压变换电路相连接，用于将所述电容电压变换电路输出的电压进行放大。

6.根据权利要求5所述的信号处理电路，其特征在于，所述脉冲发生电路包括：施密特触发器、第一电阻，和第一电容，其中，所述第一电阻连接于所述施密特触发器的输入端与输出端之间，所述第一电容连接于所述施密特触发器的输入端与地之间。

7.根据权利要求5所述的信号处理电路，其特征在于，包括：

所述上层有机板敷铜层与所述敏感头结构的质量块形成的第一差动电容，所述下层有机板敷铜层与所述敏感头结构的质量块形成第二差动电容，第一二极管以及第二二极管，第二电阻以及第三电阻；

其中，所述第一二极管和第二电阻并联连接后与所述第一差动电容串联连接于所述脉冲发生电路输出端与地之间，所述第二二极管和第三电阻并联连接后与所述第二差动电容串联连接于所述脉冲发生电路输出端与地之间，所述第一二极管以及第二二极管的负极与所述脉冲发生电路输出端连接在一起。

8.根据权利要求5所述的信号处理电路，其特征在于，所述差分放大电路包括：运算放大器AD620、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第二电容、第三电容，其中，所述AD620的正负输入端分别通过所述第四电阻和所述第五电阻与所述敷铜层焊接的电极引线相连接，所述AD620的正负输入端与地之间分别连接有所述第二电容和所述第三电容，所述AD620的R_G引脚间连接有所述第六电阻。