[实用新型]波纹管实际寿命检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，尤其是一种波纹管实际寿命检测装置，属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

背景技术

波纹管式机械密封的应用范围很广，从低温到高温，从中性介质到腐蚀性介质，从低速到高速，从普通到苛刻的工作条件都可选用。所有这些可通过变更波纹管的几何形状(如内外径、波片厚度和波数等)与材料弹性模量，改变波纹管的弹率。根据介质的腐蚀性能，选用不同的波纹管材料等。

在现有的半导体镀膜设备中，波纹管处于一个关键的部位，且环境温度较高，内部处于真空状态。同时，波纹管始终处于上下运动状态，且内部还有腐蚀介质存在。使用过程中，因为外力或高温的作用，会导致波纹管变形或破裂。波纹管的寿命期限是个很关键的指标，它直接影响机台的正常运行。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种波纹管实际寿命检测装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：波纹管实际寿命检测装置，包括上盖板(4)、腔体(42)、加热器组件及过渡法兰(36)。上盖板(4)设置在腔体(42)的上端。加热器组件及过渡法兰(36)固定在腔体(42)的下端。加热盘组件包括安装基座(14)、气缸(21)、万向活节(22)、直线滑轨(15)、滑块(16)、加热盘连接件(30)、波纹管(34)和加热盘(3)。厂务端的泵管路连接到过渡法兰(36)的下端法兰(35)上。直线滑轨(15)固定在安装基座(14)上。滑块(16)在直线滑轨(15)上滑动。气缸(21)固定在安装基座(14)的下端。气缸(21)与加热盘连接件(30)连接在一起。加热盘连接件(30)的侧面与滑块(16)固定连接。加热盘(3)上端插入到腔体(42)内，下端与加热盘连接件(30)连接。波纹管(34)上端固定在腔体(42)上，下端固定在加热盘连接件(30)上。加热盘(3)穿过波纹管(34)。

优选的，所述上盖板(4)与腔体(42)之间有胶圈密封。

优选的，安装基座(14)上设有加强筋(17)。

优选的，在加热盘连接件(30)上设有水道(29)。

本实用新型结构简单，通过模拟机台的实际使用情况，来测试波纹管真正的使用寿命是否符合设备的需求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的A-A剖视图。

图3是本实用新型去掉上盖板后的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。