[实用新型]一种接触式乌氏干涉仪有效
申请号: | 201520577930.3 | 申请日: | 2015-08-04 |
公开(公告)号: | CN204924173U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 周知贵 | 申请(专利权)人: | 昆山恒准技术服务有限公司 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215301 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 式乌氏 干涉仪 | ||
1.一种接触式乌氏干涉仪,包括接触式乌氏干涉仪主体,其特征在于,还包括CCD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块,所述的CCD相机安装在所述接触式乌氏干涉仪主体的物镜上,用以获取测量时的干涉条纹图像;所述数据存储模块中记录有标准量块的测量数据,包括坐标位置数值和测量值;所述图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至所述运算处理模块;所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理包括测量值和计算出干涉条纹的中心坐标获得的数值,提取所述数据存储模块中标准量块的测量数据,计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异,得出的受检测量块的终值记录于所述数据存储模块,所述数据存储模块将终值显示于所述显示设备。
2.根据权利要求1所述的一种接触式乌氏干涉仪,其特征在于,所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理的到的数据记录于所述数据存储模块中。
3.根据权利要求1或2所述的一种接触式乌氏干涉仪,其特征在于,所述数据存储模块中可以根据需要记录相应数量的标准量块的测量数据。
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