[实用新型]一种二维角度摆动驱动器

权利要求书

1.一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：接真空腔体法兰（1）的一侧与螺旋直线驱动器（2）的一端相连，螺旋直线驱动器（2）的另一端通过驱动管（4）与微分头直线导入器（3）的一端相连，平推中心轴（7）的一端与螺旋直线驱动器（2）相连，平推中心轴（7）的另一端连接平推杆（8），平推杆（8）的前方为旋转轴（9），旋转轴（9）连接被驱动件（10），旋转轴（9）连接旋转座（6），旋转座（6）的一端通过固定转接件（5）与螺旋直线驱动器（2）相连，旋转座（6）与旋转轴（9）上均设有弹簧安装孔（13），弹簧安装孔（13）之间连接弹簧（12）。

2.根据权利要求1所述的一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：所述驱动管（4）连接于固定转接件（5）之上，驱动管（4）内为平推中心轴（7），驱动管（4）、固定转接件（5）、平推中心轴（7）的一端分别穿过接真空腔体法兰（1）。

3.根据权利要求1或2所述的一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：所述旋转轴（9）的下部插接于轴承（11）中，轴承（11）连接于旋转座（6）上的轴承座内。

4.根据权利要求1或2所述的一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：所述被驱动件（10）为待测样品或镜子或发光二极管。

5.根据权利要求1或2所述的一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：所述驱动管（4）与固定转接件（5）之间通过顶丝顶接。