[实用新型]一种正八边形硅片制绒花篮有效
| 申请号： | 201520581408.2 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN204966462U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 何晨旭;孔祥照;朱洁;朱姚培 | 申请（专利权）人： | 江苏荣马新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 八边形 硅片 绒花 | ||
【权利要求书】：
1.一种正八边形硅片制绒花篮，包括花篮体，其特征在于：所述花篮体的外形呈五棱柱状，由正八棱柱剖分而成，包括两平行侧板（1）和连接两侧板的五根插片杆（2）。
2.根据权利要求1所述的正八边形硅片制绒花篮，其特征在于：所述插片杆（2）包括设置在花篮体端面两侧的两根第一插片杆（21）、设置在花篮体中部的两根第二插片杆（22）以及设置在花篮体底部的第三插片杆（23）；所述第一插片杆（21）外侧带有呈直线排布的外齿（41）。
3.根据权利要求2所述的正八边形硅片制绒花篮，其特征在于：所述第二插片杆（22）以及第三插片杆（23）内均设有齿槽（3），齿槽（3）中均匀的间隔设置有内齿（42）。
4.根据权利要求3所述的正八边形硅片制绒花篮，其特征在于：所述齿槽（3）截面为三角形，齿槽（3）槽底的α角角度范围在135°～155°之间。
5.根据权利要求4所述的正八边形硅片制绒花篮，其特征在于：齿槽（3）槽底的α角角度为135°。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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