[实用新型]一种高通量液相物质组合递送装置

权利要求书

1.一种高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：包括用于输送前驱体溶液的溶液输送装置、用于混合不同前驱体溶液的溶液混合器(2)、用于输出所述溶液混合器(2)中混合溶液的推送器(3)；

所述溶液输送装置包括至少两个前驱体溶液输送通道(11)及分别连接在各前驱体溶液输送通道(11)的输入口上的前驱体溶液储存器(1)；

所述溶液混合器(2)上具有溶液输入口以及溶液输出口，所述溶液输入口与各前驱体溶液输送通道(11)的输出口相连接；

所述推送器(3)设置于所述溶液混合器(2)的上方，所述推送器(3)能够伸入到所述溶液混合器(2)中以推动所述溶液混合器(2)中溶液自所述溶液输出口输出。

2.根据权利要求1所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：所述溶液混合器(2)包括至少两个，所述溶液混合器(2)均设置在一可活动的支撑体(4)上，所述支撑体(4)能够带动各个所述溶液混合器(2)移动以使得各个所述溶液混合器(2)的溶液输入口与各前驱体溶液输送通道(11)的输出口相连通。

3.根据权利要求2所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：所述支撑体(4)为一可转动的平台。

4.根据权利要求2所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：每个溶液混合器(2)的溶液输出口上连接有一混合液输送管(5)，每个所述混合液输送管(5)上设置有一开关阀(51)。

5.根据权利要求1所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：每个所述前驱体溶液输送通道(11)上均设置有一阀门(6)。

6.根据权利要求1～5任一权利要求所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：还包括一清洗装置，所述清洗装置包括用于容置清洗剂的清洗剂储存器(7)以及连接在清洗剂储存器(7)上的清洗通道(71)，所述清洗通道(71)的出口能与所述溶液混合器(2)的溶液输入口相连通。

7.根据权利要求6所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：还包括一输导管(8)，所述输导管(8)的一端与每个前驱体溶液输送通道(11)的输出口及所述清洗通道(71)的出口相连接，所述输导管(8)的另一端与所述溶液混合器(2)的溶液输入口相连通。

8.根据权利要求6所述的高通量液相物质组合递送装置，其特征在于：所述清洗通道(71)上设置有一阀门(6)。