[实用新型]一种玻璃光罩倒角装置有效
申请号: | 201520591113.3 | 申请日: | 2015-08-08 |
公开(公告)号: | CN204790306U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 广州市仕元光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/72 | 分类号: | G03F1/72 |
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地址: | 510730 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 倒角 装置 | ||
1.一种玻璃光罩倒角装置,其特征在于,所述装置包括:用于放置玻璃光罩的滑轮导轨、用于玻璃光罩倒角的金刚砂轮、用于调节砂带的被动辊轴、以及用于驱动主动辊轴运转的驱动装置,主动辊轴、被动辊轴和金刚砂轮之间由砂带连接,被动辊轴和金刚砂轮的运转则由主动辊轴通过砂带带动。
2.根据权利要求1所述的玻璃光罩倒角装置,其特征在于,所述装置包括两个所述主动辊轴、两个所述被动辊轴和两个所述金刚砂轮,且一个所述主动辊轴、一个所述被动辊轴和和一个所述金刚砂轮组成一组,其中,一组所述主动辊轴、所述被动辊轴和所述金刚砂轮设置于所述玻璃光罩的前方,另一组所述主动辊轴、所述被动辊轴和所述金刚砂轮设置于所述玻璃光罩的后方,且两个所述金刚砂轮紧邻设置以便在所述玻璃光罩前后两面分别打磨所述玻璃光罩边角。
3.根据权利要求1所述的玻璃光罩倒角装置,其特征在于,所述滑轮导轨的滑轮上有用于引导所述玻璃光罩移动的凹槽。
4.根据权利要求1所述的玻璃光罩倒角装置,其特征在于,所述金刚砂轮为四个圆形金刚砂轮片以相同间距固定在一个辊轴上组成。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备