[实用新型]具有多孔结构的氧化物薄膜有效
| 申请号： | 201520593779.2 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN205011641U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 高彦峰 | 申请（专利权）人： | 瀛石（上海）实业有限公司;南京协合新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 200001 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 多孔 结构 氧化物 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有多孔结构的氧化物薄膜,其特征在于：其包括基板和覆盖在基板上的氧化物结晶晶粒；所述氧化物结晶晶粒具有金属-绝缘体相变的结晶结构，该氧化物结晶晶粒呈规则的环状结构，且环状结构的氧化物结晶晶粒覆盖在所述基板上形成连续的氧化物薄膜，其中氧化物结晶晶粒的环状结构的内径为30-3000纳米。
2.根据权利要求1所述一种具有多孔结构的氧化物薄膜,其特征在于：所述氧化物结晶晶粒为二氧化钒结晶晶粒。
3.根据权利要求2所述一种具有多孔结构的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的连续的氧化物薄膜厚度小于400纳米。
4.根据权利要求3所述一种具有多孔结构的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的连续的氧化物薄膜厚度小于100纳米。
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