[实用新型]上排气热场单晶炉

权利要求书

1.一种上排气热场单晶炉，所述上排气热场单晶炉包括主炉室、导流筒、石英坩埚、上保温筒和抽空口，其特征在于，所述上保温筒上开设有多个在所述上保温筒的圆周上均匀分布的孔口，经所述孔口形成所述上排气热场单晶炉的上排气通道，所述上排气通道经所述导流筒、所述石英坩埚内的液面、向上经过所述孔口、向下经过所述主炉室的内壁至所述抽空口。

2.如权利要求1所述的上排气热场单晶炉，其特征在于，所述孔口开设于所述上保温筒的顶端与所述上排气热场单晶炉的下保温盖之间。

3.如权利要求1所述的上排气热场单晶炉，其特征在于，所述上保温筒的外壁上包裹有石墨碳毡，所述石墨碳毡上与所述孔口相对应的位置开设有开槽。

4.如权利要求2所述的上排气热场单晶炉，其特征在于，所述孔口的数量为4-8个。

5.如权利要求4所述的上排气热场单晶炉，其特征在于，所述孔口的数量为6个。