[实用新型]一种多线切割机用组合式斜铁

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体、太阳能硅片切割加工技术领域，主要涉及一种多线切割机用组合式斜铁。

背景技术

多线切割作为全新概念的新型切割设备，因其多线切割机切割的硅片弯曲度（BOW），翘曲度（Warp），总厚度公差（TTV）较小，加工硅片表面损伤层较小，出片率高。所以在太阳能、半导体硅片加工行业中占据着举足轻重的地位，特别是NTC442DM线切割机占有率较高。但随着设备使用周期的增加，用于加紧工件晶托的斜铁由于长时间处在松开拧紧使用状态，在斜铁与顶丝接触的段端面上，会形成出现不规则深浅不一的小坑，如果顶丝在压紧斜铁时，顶到小坑的边缘，切割时由于负载的增大，会使顶丝滑动到小坑中，造成晶棒的震动，从而引起最终硅片弯曲度（BOW），翘曲度（Warp），总厚度公差（TTV）变大，造成整批硅片的报废，损失严重，由于加紧工件晶托的斜铁属于专用斜铁，如果重新购买新的斜铁将面临采购周期较长的问题，且使采购成本增大。

实用新型内容

鉴于目前现有技术中所存在的技术问题，本实用新型设计并公开了一种多线切割机用组合式斜铁，通过对斜铁结构的重新设计，用以解决因斜铁长时间使用而形成的小坑会使顶丝滑动至小坑中，使切割中的晶棒震动，造成硅片弯曲度（BOW），翘曲度（Warp），总厚度公差（TTV）变大的现象和整批硅片报废的问题。

为实现上述发明目的，本实用新型采取的具体技术方案是：一种多线切割机用组合式斜铁，由斜铁、内六方顶丝、圆柱体腔、顶丝孔、耐磨圆柱体组成；其中在斜铁端平面的下部等距离加工有三个圆柱体腔，三个圆柱体腔的底部各开有一个垂直于圆柱体腔的顶丝孔；耐磨圆柱体装在圆柱体腔内，通过顶丝孔用内六方顶丝锁紧；所述的一种组合式多线切割机组用斜铁，其中耐磨圆柱体的直径尺寸和长度尺寸与圆柱体腔的深度尺寸和直径尺寸相同。

本实用新型所述的一种多线切割机用组合式斜铁，解决了因斜铁长时间被顶丝压紧在斜铁上形成的小坑问题，如果装在圆柱体腔内的耐磨圆柱体因长时间使用形成小坑，只需要将锁紧耐磨圆柱体的内六方顶丝松开，重新更换耐磨圆柱体并锁紧即可，从而解决了因斜铁长时间使用形成小坑，造成切割过程中晶棒震动，从而引起的弯曲度（BOW），翘曲度（Warp），总厚度公差（TTV）变大的现象，本实用新型结构简单，同时可以大大降低斜铁的采购成本，提高斜铁的利用率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中斜铁主体的侧面剖视图；

图3为本实用新型中耐磨圆柱体示意图。

图中：1、斜铁；2、内六方顶丝；3、圆柱体腔；4、顶丝孔；5、耐磨圆柱体。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：

如图1、图2、图3所示，本实用新型所述的一种多线切割机用组合式斜铁主要是由斜铁1、内六方顶丝2、圆柱体腔3、顶丝孔4、耐磨圆柱体5构成；其中，在斜铁1上端平面部分的下部等距离加工有三个圆柱体腔3，圆柱腔体3的底端各开有一个垂直于圆柱形腔3的顶丝孔4，耐磨圆柱体5与斜铁1上的圆柱体腔3配合在一起，并通过顶丝孔4由内六方顶丝2锁紧。通过重新设计的组合式斜铁1并在斜铁1端平面设计三个圆柱体腔3，由耐磨圆柱体5与圆柱体腔3配合在一起，长时间使用，如果耐磨圆柱体5被顶出小坑时，只需将内六方顶丝2松开，重新更换耐磨圆柱体5即可，使用拆装方便，可以避免由于长期频繁顶斜铁的部位形成小坑，造成切割过程中震动，从而引起的弯曲度（BOW），翘曲度（Warp），总厚度公差（TTV）变大的现象。