[实用新型]带测距的石英玻璃制砣机

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种带测距的石英玻璃制砣机。

背景技术

石英玻璃具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。石英玻璃可采用氢氧焰或等离子体为热源，原料可采用水晶粉在石英基底表面分布熔融制备而成；或采用含硅前驱体(通常为SiCl₄)原料经水解或氧化反应产生的SiO₂纳米颗粒在石英基底表面沉积熔融制备而成。石英玻璃制砣机是制备上述石英玻璃的关键设备，其结构直接影响石英玻璃产品的尺寸、性能和成品率。

现有技术中公开了一种合成石英玻璃的制砣机，它由上至下依次设置有驱动电机、主轴箱、立柱及底座。在立柱内垂设有滚珠丝杠，该滚珠丝杠的顶端与主轴箱连接，底端固定有轴承座。滚珠丝杠上套设有升降座，升降座上设置有主轴和主轴电机。主轴电机与主轴驱动连接，以驱动主轴转动。主轴上设置有用于安装外部沉积基底的连接部，合成石英玻璃的熔制过程在沉积基底上进行。立柱上设有光栅尺，制砣机通过光栅尺对升降座的升降进行检测。

在实现上述技术方案的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：光栅尺在工业环境下使用极易损坏，光栅尺的环境耐受性较差，使用寿命短。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种带测距的石英玻璃制砣机，主要目的在于解决现有技术中制砣机的测距装置极易损坏，使用寿命短的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种带测距的石英玻璃制砣机，包括：

底座；

升降座；

主轴，可转动地竖直设置在升降座上，所述主轴上设有连接部，所述连接部用于安装制备石英玻璃的沉积基底；

升降机构，设置在底座上，升降机构的输出端与升降座连接，以驱动升降座升降；

旋转编码器；

升降动力装置，其一个输出端分别与所述升降机构的输入端和所述旋转编码器的输入轴驱动连接。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，

升降动力装置的输出端连接有输出轴；

输出轴上固定地套置有主动齿轮；

旋转编码器的输入轴上固定地套置有第一测距齿轮；

主动齿轮与第一测距齿轮驱动连接。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括：

第一传动轴，可转动地设置在底座上，第一传动轴上分别固定地套置有第一传动齿轮和第二测距齿轮；

其中，第二测距齿轮与第一测距齿轮啮合传动；主动齿轮与第一传动齿轮传动连接。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括：

第二传动轴，可转动地设置在底座上，第二传动轴上固定地套置有第二传动齿轮，第二传动齿轮置于第一传动齿轮和主动齿轮之间，主动齿轮与第二传动齿轮啮合传动，第二传动齿轮与第一传动齿轮啮合传动。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，升降机构包括：

升降丝杠，可升降地竖直设置在底座上，升降丝杠作为升降机构的输出端；

丝杠螺母，套设在升降丝杠上，且与升降丝杠的外壁螺纹连接，丝杠螺母可转动地设置在底座上，丝杠螺母的外环设有齿轮结构；

其中，齿轮结构与第一传动齿轮啮合传动。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，

底座包括基座和设置在基座上的传动箱，传动箱具有内腔；

升降丝杠穿过传动箱；

内腔的上腔壁上设有与丝杠螺母的上端相适配的第一轴孔，内腔的下腔壁上设有与丝杠螺母的下端相适配的第二轴孔；

丝杠螺母置于传动箱内部，丝杠螺母的上端插入第一轴孔内，丝杠螺母的下端插入第二轴孔内；

丝杠螺母下端的侧壁沿径向向内凹陷形成第一卡台，第一卡台与第二轴孔的上端面转动配合；

丝杠螺母在两端之间的外环壁上设有的齿轮结构。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，还包括：

推力球轴承，设置在传动箱内，推力球轴承的内圈作为的第二轴孔，推力球轴承上环的端面作为第二轴孔的上端面。

前述的带测距的石英玻璃制砣机，其中，升降动力装置包括：