[实用新型]一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置有效
申请号: | 201520606258.6 | 申请日: | 2015-08-13 |
公开(公告)号: | CN204924590U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军63653部队 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 乌鲁木齐新科联知识产权代理有限公司 65107 | 代理人: | 王志刚 |
地址: | 841700 新疆维吾*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 加压 真空 实验 装置 | ||
1.一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置,包括阀门(2),真空计(3),压力变送器(4),检漏仪(8),氦气源(9)及氮气源(10),其特征在于:通过阀门(2)旋片泵(1)与真空计(3)相连接;转接口(5)上设置着检漏工装(6),检漏工装(6)与被检件(7)相连接;压力变送器(4)通过阀门(2)分别于氦气源(9)及氮气源(10)并联在一起,同时压力变送器(4)通过转接口(5)与被检件(7)相连;检漏仪(8)通过阀门(2)与被检件(7)相连,通过阀门(2)真空计(3)与检漏仪(8)及被检件(7)并联在一起。
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