[实用新型]中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器

权利要求书

1.一种中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器，包括谐振腔，其特征在于：还包括多个二倍频晶体、多个三倍频晶体和多个相并联的端面泵浦激光器，二倍频晶体和三倍频晶体位于谐振腔内形成倍频谐振腔，各端面泵浦激光器包括由泵浦源、耦合镜和激光晶体构成的端面泵浦装置、由第一全反镜和第二全反镜构成的子谐振腔、设于子谐振腔内用于调制产生基频脉冲激光的Q开关以及用于输出基频脉冲激光的第一输出镜，各端面泵浦激光器的光轴与其内的第一输出镜的夹角为45°，各第一输出镜输出的基频脉冲激光依次经过二倍频晶体和三倍频晶体形成紫外激光后并联合束到谐振腔内并从谐振腔的第二输出镜输出。

2.如权利要求1所述的中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器，其特征在于：还包括第三全反镜，所述谐振腔由第三全反镜与第二输出镜构成，所述端面泵浦激光器为三个，三个端面泵浦激光器的第一输出镜均是对1064nm半透半反，以及对532nm、355nm全透的半透半反镜，每相邻的两个半透半反镜之间、第三全反镜与接近的端面泵浦激光器的半透半反镜之间设有二倍频晶体和三倍频晶体。

3.如权利要求2所述的中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器，其特征在于：所述半透半反镜为平面镜，其上镀有对1064nm部分反射的介质膜和532nm、355nm增透膜；所述第一全反镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第一全反镜上镀有对808nm高透和1064nm高反的介质膜；所述第二全反镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第二全反镜上镀有对1064nm高反的介质膜；所述第三全反镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第三全反镜上镀有对1064nm、532nm、355nm高反的介质膜；所述第二输出镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第二输出镜上镀有1064nm、532nm高反的介质膜和355nm增透膜；所述泵浦源为输出808nm波长泵浦光的二极管泵浦源；所述耦合镜由两片式透镜组成，两片透镜均镀有808nm增透膜；所述激光晶体为Nd:YAG晶体；所述Q开关为采用熔融石英的声光Q开关，其超声频率为40.68MHz，Q开关双面镀有1064nm增透膜；所述二倍频晶体为LBO二次谐波晶体，规格为3×3×20mm,双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜；所述三倍频晶体的规格为3×3×15mm，双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜。

4.如权利要求1所述的中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器，其特征在于：所述端面泵浦激光器为三个，各端面泵浦激光器的第一输出镜和第二全反镜之间设有二倍频晶体，接近第二输出镜的两个端面泵浦激光器的第一输出镜是532nm半透半反镜，该两个端面泵浦激光器的532nm半透半反镜之间、第二输出镜与接近的端面泵浦激光器的532nm半透半反镜之间设有三倍频晶体；远离第二输出镜的端面泵浦激光器的第一输出镜是对1064nm全透、对532nm、355nm全反的532nm全反镜，所述谐振腔由远离第二输出镜的端面泵浦激光器的第二全反镜和第二输出镜构成，532nm全反镜与接近的532nm半透半反镜之间设有三倍频晶体。

5.如权利要求4所述的中小功率LD并联泵浦高功率紫外激光器，其特征在于：所述第一全反镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第一全反镜上镀有对808nm高透和1064nm、532nm高反的介质膜；所述第二全反镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第二全反镜上镀有1064nm、532nm、355nm高反的介质膜；所述532nm全反镜为平面镜，其上镀有对532nm、355nm高反的介质膜和1064nm增透膜；所述第二输出镜为平面镜、平凸镜或平凹镜，第二输出镜上镀有1064nm、532nm高反的介质膜和355nm增透膜；所述泵浦源为输出808nm波长泵浦光的二极管泵浦源；所述耦合镜由两片式透镜组成，两片透镜均镀有808nm增透膜；所述激光晶体为Nd:YAG晶体；所述Q开关为采用熔融石英的声光Q开关，其超声频率为40.68MHz，Q开关双面镀有1064nm增透膜；所述二倍频晶体为LBO二次谐波晶体，规格为3×3×20mm,双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜；所述三倍频晶体的规格为3×3×15mm，双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜。