[实用新型]一种组合式石英舟有效
| 申请号： | 201520609257.7 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204874829U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 李京涛;王新;李中军;方丽霞 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 石英 | ||
1.一种组合式石英舟，包括舟体（1）和覆盖在舟体（1）上部的石英玻璃护板（8），其特征在于：所述石英玻璃护板（8）的中部设有矩形槽（12），该矩形槽（12）的长度方向与舟体（1）的长度方向相同，且沿矩形槽（12）长度方向的两侧对称分布有若干横槽（13）；所述舟体（1）的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽（14），该沟槽（14）的位置和宽度与石英玻璃护板（8）上横槽（13）的位置和宽度对应；所述舟体（1）的两侧壁倾斜设置，且两侧壁下部的间距小于上部的间距，六根横柱中的横柱五（6）、横柱六（7）、横柱三（4）和横柱四（5）分成两组对称设置在舟体（1）的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板（8）配合放置6英寸单晶硅样块（11）和5英寸单晶硅样块（10）；六根横柱中的横柱一（2）和横柱二（3）设置在舟体（1）的底部，以使其与横柱三（4）、横柱四（5）配合放置4英寸单晶硅样块（9）。
2.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于：所述横柱五（6）和横柱六（7）距离舟体（1）底部的垂直高度为90mm，两者的间距为131mm；所述横柱三（4）和横柱四（5）距离舟体（1）底部的垂直高度为50mm，两者的间距为106mm；所述横柱一（2）和横柱二（3）设置在舟体（1）的底部，两者的间距为45mm。
3.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于：所述石英玻璃护板（8）上矩形槽（12）的长为280mm，宽为50mm，其两侧横槽（13）的长度55mm。
4.根据权利要求1所述的一种组合式石英舟，其特征在于：所述沟槽（14）的深度为3mm，宽度为2~6mm。
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