[实用新型]一种热蒸发镀膜装置

权利要求书

1.一种热蒸发镀膜装置，包括真空室（7）和设置于真空室内的蒸发源（1），其特征在于：在蒸发源（1）上方设置有能够阻挡膜料的挡板（2），在挡板（2）上方设置有调制盘（3），所述的调制盘（3）通过转轴与设置于真空室（7）外的调制电机（4）连接；调制电机（4）与驱动器（5）和控制器（6）连接；

所述的调制盘（3）包括调制板固定架（8）和设置于调制板固定架（8）内的多片移动叶片（12）；

所述的调制板固定架（8）包括圆环形的框架（13）、多片固定叶片（9）和联轴器（11）；所述的固定叶片（9）为扇形板形状，多片固定叶片（9）等间隔设置于框架（13）的圆环内，固定叶片（9）的长弧段通过焊接与框架（13）连接，固定叶片（9）的短弧段通过焊接连接联轴器（11）；所述的联轴器（11）设置于多片固定叶片（9）的中央位置；联轴器（11）与转轴配合连接；在框架（13）的圆环面上均布多个螺纹孔；联轴器上设置有紧固螺母（10）；

所述的移动叶片（12）为扇形板形状，移动叶片（12）的长弧端设置有多个螺纹孔，多片移动叶片（12）的长弧端可通过螺纹连接设置于框架（13）的不同位置，移动叶片（12）的短弧端通过紧固螺母（10）与联轴器（11）连接。

2.根据权利要求1所述的热蒸发镀膜装置，其特征在于：所述框架（13）的圆环面上均布36个螺纹孔，相邻螺纹孔对框架（13）中心的夹角为10°。

3.根据权利要求1或2所述的热蒸发镀膜装置，其特征在于：所述的蒸发源（1）为电子枪蒸发源或电阻蒸发源。

4.根据权利要求3所述的热蒸发镀膜装置，其特征在于：所述的调制电机（4）为直流电机或步进电机。

5.根据权利要求4所述的热蒸发镀膜装置，其特征在于：所述的控制器（6）为PLC控制器或工控机，PLC控制器通过LCD触摸屏并进行电机参数设置。