[实用新型]化学槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种化学槽，尤其涉及一种在槽主体的上部与下部增设 横截面积小于槽主体的横截面积的圆柱状的槽部而能够最小化由液位传感器 的测量误差引起的化学品量的误差的化学槽。

背景技术

通常，制造半导体或平板显示器装置的制造设备中所使用的化学品具有 预定的浓度，该浓度通过混合化学品原液和水来调整。这时候使用的是包括 混合槽的化学品混合设备。混合设备首先在混合槽里放入原液，再根据所需 要的浓度供应水并混合而得到所需浓度的化学品。

为了准确计量混合的水的量，当槽的大小较小时可以在槽的下方设置秤， 然而对于较大的槽而言，设置并管理秤有些困难，所以把利用测水位的接近 传感器或者超声波传感器等液位传感器的所谓位准树(LevelTree)贴附到槽来 测量出混合的水的量。

图1表示现有的混合槽。现有的混合槽100整体上成型为圆柱状，并具 有槽主体110，该槽主体110的上部与下部不是平板，而是中心凸出来的曲面。 很难认为槽主体110的上部与下部对槽的容量本身产生积极影响。

槽主体110的上部配备有：注入口101，供给水和来自原液槽10的化学 品原液；排气口103，用于排出槽主体110内部的气体，并且，在槽主体110 的下部的中心配备有用于供应工艺中混合的化学品的混合药液排出口105。 并且，槽主体110的上部还配备有作业人员出于各种目的而进入槽主体110 内部的出入口113。槽主体110的侧面配备有：透明管道107，与槽主体110 的内部连接且竖直布置；位准树，具有设置于该管道107的下端的低(Low) 液位传感器109和设置于该管道107的上端的高(High)液位传感器111。

例如，假设在化学品原液与水的比重相同的情况下生产浓度为1％的药 液，则需要把原液和水以1:99的比例进行混合。如果是可以处理3000L的混 合槽100，则把低液位传感器109和高液位传感器111之间的间隔调节到总量 成为3000L，并把原液槽10的一次供给量设定成30L。

首先，作为前序作业，在混合槽100的低液位传感器109高度以上处混 合出浓度为1％的混合液，然后放空槽主体110内的药液直到被低液位传感器 109感测到为止，于是使低液位传感器109下方充满浓度为1％的混合药液。

进入混合步骤，打开原液槽10和槽主体110的注入口101之间的第一阀 门V1，然后利用氮气对原液槽10内部加压，使一次注入量即30L通过第一 阀门V1供给到槽主体110。如果原液注入完毕，则关闭第一阀门V1，并打 开与槽主体110的注入口101连接的第二阀门V2而加水直到被高液位传感器 感测到为止，随后关闭第二阀门V2。

在与槽主体110的排出口105连接的泵11启动的状态下，打开泵11与 注入口101之间的第三阀门V3和第四阀门V4而使混合槽100内的混合液循 环搅拌，并利用第三阀门V3与第四阀门V4之间的浓度计13测量浓度值并 确认是否符合所期望的浓度，然后停止混合。

但是，如果使用如图1所示的现有的混合槽100，尽管通过如上所述的 混合工艺混合尽可能准确的量，还是会因为低液位传感器109和高液位传感 器111所具有的本质性误差而无法计量准确的混合量，因此可能导致发生浓 度误差。

例如，在混合槽100的直径为1.8m的情况下，其截面积为2.543m²。假 设各个液位传感器109、111的感测误差(高度)为5mm，则两个液位传感 器109、111导致的最大高度误差为10mm。如果换算成水量，则产生±25L 的误差，且浓度变化为±0.008％。

对于光刻工艺中使用的TMAH(TetramethylammoniumHydroxide，四甲 基氢氧化铵)药液而言，允许浓度误差为±0.005％，因此当浓度计13测量的 误差超过允许误差时，需要追加原液或者水来进行校正，因此可能导致药液 生产速度缓慢、需要配备多台混合装置等时间与成本问题。

[相关技术文献]

化学品供给装置(韩国专利申请第10-2013-0160412号)

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种通过在槽主体的上部与下部增设横截面 积小于槽主体的横截面积的圆柱状的槽部而能够最小化由液位传感器的测量 误差导致的化学品量的误差的化学槽。