[实用新型]一种用于安装抛光机压头O型环和压头垫片的装置有效

专利信息
申请号: 201520610475.2 申请日: 2015-08-14
公开(公告)号: CN204893840U 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 赵文龙;高烨;胡晓亮;李宏儒;崔小换;郭光灿;陈卫群;焦二强 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: B25B27/02 分类号: B25B27/02
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 罗民健
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 安装 抛光机 压头 垫片 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域,具体涉及一种用于安装抛光机压头O型环和压头垫片的装置。

背景技术

抛光机压头上的O型环和压头垫片,直接影响着抛光后单晶硅抛光片的平整度质量,随着生产的连续运行,抛光机压头上的O型环和压头垫片会发生磨损和变形,当O型环和压头垫片的磨损和变形造成单晶硅抛光片的平整度质量下降到不能满足产品质量要求时,需要重新更换压头O型环和压头垫片,现有更换O型环的办法是手工把新的O型环慢慢按压到压头底部的O型环槽内,而压头垫片是一个无纺布材质制成的圆环,更换时人工只能凭感觉找准压头底部的中心点后直接把压头垫片粘到压头底部上。现有更换压头O型环和压头垫片的方法存在以下缺点:1.人工更换,用力不均衡,容易造成O型环或压头垫片的位置偏移,影响产品质量;2.更换压头垫片时,凭感觉定压头底部中心点,很难做到准确且缺乏一致性,压头垫片位置变化很大,造成产品质量下降且一致性差;3.由于压头位置偏低,更换时需人员弯腰反向操作,操作不方便,更换速度慢,影响生产效率。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种用于安装抛光机压头O型环和压头垫片的装置,该装置可以方便、快速、准确的安装抛光机压头O型环和压头垫片,提高产品质量和生产效率。

本实用新型所采用的技术方案是:一种用于安装抛光机压头O型环和压头垫片的装置,包括与抛光机压头底部直径相配合的圆盘,圆盘的中心位置设有用于定位压头垫片的中心孔,圆盘上以中心孔为中心分别设有两个交叉设置的定位刻度、多个均匀分布的定位环以及直径与压头O型环相对应的定位槽,,所述定位刻度穿过定位槽延伸至圆盘边缘。

进一步优化,所述的定位槽的底部为三角形结构。

进一步优化,所述圆盘为塑料材质的圆盘。

进一步优化,所述两个定位刻度呈十字交叉设置。

与现有技术相比,本实用新型至少具有下述优点及有益效果:

本实用新型结构简单合理,可以方便、快速的安装压头O型环或压头垫片,安装成的压头O型环或压头垫片位置精确、受力均匀,可以有效提高产品质量和生产效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图的俯视图;

图2为本实用新型结构沿A-A方向的剖视图;

图3为本实用新型结构中B的局部放大图;

附图标记:1、圆盘,2、中心孔,3、定位槽,4、定位环,5、定位刻度。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更明显易懂,以下结合具体实施例,对本实用新型进行详细描述。

如图所示,一种用于安装抛光机压头O型环和压头垫片的装置,包括与抛光机压头底部直径相配合的圆盘1,圆盘1的中心位置设有用于定位压头垫片的中心孔2,圆盘1上以中心孔2为中心分别设有两个交叉设置的定位刻度5、多个均匀分布的定位环4以及直径与压头O型环相对应的定位槽3,所述定位刻度5穿过定位槽3延伸至圆盘1边缘。

为了使本实用新型具有更好的使用效果,所述的定位槽3的底部为三角形结构。所述圆盘1为塑料材质的圆盘。

作为另一种优选方式,所述两个定位刻度5呈十字交叉设置。

本技术方案中,当更换压头O型环时,先把压头O型环放入圆盘1上的定位槽3内,然后把圆盘1放在抛光机大盘上,并通过抛光机中心轮和导轮定位准确后,操纵设备下压压头直到压住圆盘1,然后升起压头,这时压头O型环已压入压头底部的压头O型环槽内,检查压头O型环是否都已完全在槽内且表面光滑,检查无异常后压头O型环更换完成。当更换压头垫片时,先根据压头垫片内外环的直径尺寸,再按照圆盘1上的定位刻度5,把压头垫片放到相应的定位环4上,压头垫片放置时背胶朝上,压头垫片的中心与中心孔2对应,中心孔2为盲孔,最好为通孔,中心孔2可通过大头针等穿过压头垫片的中心试探,若扎进中心孔2,说明压头垫片的位置已经对准,这时控制设备下压压头直到压住圆盘1,5秒钟后升起压头,这时压头垫片已准确粘贴到压头底部,检查垫片与压头之间没有气泡且粘贴紧密,即压头垫片更换完成。

本实用新型结构简单合理,可以方便、快速的安装压头O型环或压头垫片,安装成的压头O型环或压头垫片位置精确、受力均匀,可以有效提高产品质量和生产效率。

本实用新型所列举的技术方案和实施方式并非是限制,与本实用新型所列举的技术方案和实施方式等同或者效果相同方案都在本实用新型所保护的范围内。

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