[实用新型]一种教学用扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201520614100.3 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204905206U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 杨如倩 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学万方科技学院 |
| 主分类号： | H01J31/28 | 分类号： | H01J31/28 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张真真 |
| 地址： | 451400 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 教学 扫描 电子显微镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种教学用扫描电子显微镜，其特征在于：包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接。
2.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述聚光镜头三一侧设置有二次电子探测器。
3.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述二次电子探测器与壳体固定连接。
4.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述样品台为电动样品台。
5.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述样品台与壳体固定连接。
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