[实用新型]超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构

权利要求书

1.一种超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，包括反应室(1)和上盖(8)，其中反应室(1)内的上部水平设有一个用于固定衬底的载台(2)，该载台的上方设有一个加热体外壳(3)，在加热体外壳(3)内设有加热体(4)，通过该加热体在载台(2)附近形成高温热反应区域；所述载台(2)通过一根转动杆(5)与电机(6)的输出轴下端同轴连接，该电机通过电机支架(7)支撑在所述上盖(8)的上表面，而上盖(8)与所述反应室(1)上端面之间设有0型密封圈，且上盖(8)在需要时可以打开，其特征在于：所述加热体外壳(3)外固定有一个抽气罩(9)，该抽气罩顶部通过一个固定架(10)固定在圆环形的热反射罩(11)底面上，这个热反射罩的外边缘紧靠所述反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3mm；所述热反射罩(11)顶面通过一组下固定柱(12)吊装在一块水冷热屏蔽板(13)的底面上，该水冷热屏蔽板为圆环形结构，其外边缘紧靠反应室(1)的内壁，其间隙量小于0.3mm，且水冷热屏蔽板(13)顶面通过一组上固定柱(14)吊装在所述上盖(8)的下表面上；所述水冷热屏蔽板(13)上开有冷却水道，并在水冷热屏蔽板顶面竖直设有一根进水管(15)和一根出水管(16)，这两根水管的下端均与水冷热屏蔽板(13)上的冷却水道连通，且这两根水管的上端均从所述上盖(8)处伸到反应室(1)外面。

2.根据权利要求1所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于：所述进水管(15)和出水管(16)设在电机(6)的两侧。

3.根据权利要求1所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于：所述热反射罩(11)和水冷热屏蔽板(13)均为锅盖状结构，其外边缘与所述反应室(1)内壁之间的间隙量均为0.2mm。

4.根据权利要求1-3任一所述的超声雾化热解喷涂反应室的热屏蔽结构，其特征在于：所述加热体(4)选用碘钨灯。