[实用新型]一种磁流变抛光设备的工件多自由度驱动机构

说明书

技术领域

本实用新型属于磁流变抛光设备，具体涉及一种磁流变抛光设备的工件多自由度驱动机构。

背景技术

随着现代信息电子技术、光学技术的不断进步，在IT、电子行业，超光滑元件应用越来越多，如蓝宝石衬底、单晶硅表面、手机后盖等，这类元件的加工批量大，其表面要满足超光滑，光泽度高，色泽均匀，无划伤等要求。目前，市场上的研磨抛光机都是采用平面互研原理，工件卡在游心轮中，在上下抛光盘的研磨作用下实现抛光。这种抛光方式的局限性就是只能加工平面，不能加工弧面等曲面。

磁流变液是一种智能材料，是由高导磁率、低磁滞性的微小软磁性颗粒和非导磁性液体混合而成的悬浮体。它在常态下是液体，当加载磁场时，发生液—固相变，当去除磁场时，又发生固—液相变。在一定磁场强度范围内，磁流变液的表现粘度和磁场强度有关，这种现象称为磁流变效应。利用磁流变液的磁流变效应，可以将磨粒聚集于抛光区域形成柔性磨头，具有磨头硬度可调，磨粒自锐，面型贴合好等优点，用于抛光加工性能优良。

现有的磁流变抛光装置抛光作业时可以通过改变磁场强度改变磨头的硬度，但整个抛光区域的材料去除模型是固定的，工件在加工过程中不能做多自由度运动，因此无法完成工件复杂曲面的抛光。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构合理、运动灵活的磁流变抛光设备的工件多自由度驱动机构。

本实用新型提供的磁流变抛光设备的工件多自由度驱动机构，包括设在机架上的公转机构、设在公转机构上的自转机构和安装工件的工件轴；所述公转机构和自转机构为行星运动机构，所述工件轴安装在所述公转机构和自转机构之间。

所述公转机构包括安装在机架上的机头、设在机头上的公转伺服电机和与公转伺服电机连接的公转主轴、与公转主轴连接的齿轮、与齿轮啮合的齿圈；所述自转机构包括设在机头上的主轴，设在齿圈内且设在主轴上端与齿轮啮合的上主轴齿轮和设在主轴下端的下主轴齿轮、活动设在齿圈上且通过工件齿轮与下主轴齿轮啮合的工件轴。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的特点是在具有磁场的磁流变液中使工件做多个自由度的运动，在梯度磁场的作用下，由于液体形态的磁流变液会变成具有强粘弹性作用的液固态，其沿着磁力线方向形成的磁链将夹持着磨粒，相当于一个个磁柔性小磨头，利用工件与磁流变液产生相对运动，通过控制工件的多自由度运动，能够在一次装夹下，同时对一个或多个工件的外表面进行抛光加工，其外表面可以是平面、弧面或复杂曲面。本实用新型结构合理、运动灵活，通过试用证明：可以很有效的解决复杂形面难以抛光的难题，可减少工件加工的工序，有效提高抛光效率，同时应用工件的多自由运动结构，简化了设备结构。

下面结合附图进一步说明本实用新型的技术方案。

附图说明

图1是磁流变抛光装置的结构示意图。

图2是本实用新型装置的结构示意图。

图3是本实用新型加工工件的示意图。

具体实施方式

图1所示为磁流变抛光装置，包括底座12和设在底座12一侧的机架11，底座12上设有磁场发生装置13，磁场发生装置13的上面设有用于盛装磁流变液的抛光液槽17，在机架11上设有升降机构，升降机构上设有位于所述抛光液槽17上方夹持工件14且使工件14做多个自由度运动的工件驱动机构；所述升降机构包括设在机架11上的伺服电机9和滑动座6，伺服电机9通过滚珠丝杆10与滑动座6连接，滑动座6安装在沿机架11竖向布置的导轨8上；本实用新型提供的磁流变抛光设备的工件多自由度驱动机构如图2所示，包括设在升降机构上的公转机构、设在公转机构上的自转机构和安装工件的工件轴；所述公转机构和自转机构为行星运动机构，所述工件轴安装在所述公转机构和自转机构之间；所述公转机构包括安装在滑动座6上的机头2、设在机头2上的公转伺服电机1和与公转伺服电机1连接的公转主轴16、与公转主轴16连接的齿轮1515、与齿轮1515啮合的齿圈1516，所述自转机构包括设在机头2上的主轴1520，设在齿圈1516内且设在主轴1520上端与齿轮1515啮合的上主轴齿轮1519和设在主轴1520下端的下主轴齿轮1517、活动设在齿圈1516上且通过工件齿轮1518与下主轴齿轮1517啮合的工件轴1501，工件14安装在工件轴1501上。