[实用新型]一种提高保温效果的炉帽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种提高保温效果的炉帽。

背景技术

扩散炉是半导体器件制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化及烧结等工艺的一种热加设备。主要反应装置一般为螺旋式加热丝加三点补偿温控，半导体材料在高纯净的反应腔内进行高温反应，此过程一般需要炉内各个位置的炉温必须一致，温度恒定在一定范围内，且波动不能很大。目前多数扩散设备因外区散热快，对于炉体外区的炉温控制办法多为增加炉体外区的电流输出，提高外区补偿温度，通过高电能消耗来补偿炉温，该种方法无疑增加了用电成本，并且对于口径大的4寸扩散炉改善效果不够明显。

实用新型内容

为解决半导体硅片在扩散过程中炉温外区保温效果不好，耗电量偏大的问题，本实用新型提供了一种提高保温效果的炉帽，通过外区炉口位置安装具备保温效果的炉帽，减少炉体外区的热能量散失，从而降低外区的温度补偿，降低用电消耗，起到节能降耗的目的。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。

一种提高保温效果的炉帽，包括尾气排放通道、保温石英棉、保温棉排气孔以及石英壁；所述保温石英棉位于石英壁内，石英壁上设有保温棉排气孔，尾气排放通道贯穿保温石英棉和石英壁，所述石英壁外侧还设有能够与炉管壁卡合的卡槽。石英壁的外侧加装2个保温棉排气孔，防止石英壁内的石英棉仓因压力过高破裂。

作为本实用新型的进一步改进，所述石英壁外侧还设有操作把手，便于作业员取放炉帽。

本实用新型的有益效果是，使用具备保温效果的石英棉填装，能够有效阻止炉管内热量散失，降低炉体外区的电流输出，降低补偿温度，从而减少用电消耗，起到节能降耗的目的。设置专用的通气通道，在实现保温的同时反应尾气能够顺畅排出，避免回流，保持炉管腔的洁净度。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图2是图1的右视图。

图3是本实用新型于炉管装配后结构示意图。

其中，1、尾气排放通道；2、操作把手；3、保温棉排气孔；4、保温石英棉；5、石英壁；6、待扩散晶片；7、炉管壁。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图3所示，一种提高保温效果的炉帽，包括尾气排放通道1、保温石英棉4、保温棉排气孔3以及石英壁5；所述保温石英棉4位于石英壁5内，石英壁5上设有保温棉排气孔3，尾气排放通道1贯穿保温石英棉4和石英壁5，所述石英壁5外侧还设有能够与炉管壁7卡合的卡槽，所述石英壁5外侧还设有操作把手2，便于作业员取放炉帽。

本实施例的实现方法为：待扩散晶片6推入炉管内后，将保温炉帽套入炉管口内，使炉管壁7与炉帽石英壁5吻合，在保温过程中，装有保温石英棉4的炉帽部分将热量隔绝，避免热量散失到炉管的外部，而在扩散过程中产生的尾气则通过尾气排放通道1排出炉管腔，确保炉管腔的洁净度。

上述虽然结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。