[实用新型]多线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及切割设备领域，尤其是一种多线切割机。

背景技术

多线切割是切割硅片非常有效的方法之一。多线切割机以其极高的生产效率和出片率，所切硅片具有弯曲度小、翘曲度小、平行度好、总厚度公差(TTV)离散性小、刃口切割损耗小、表面损伤层浅、硅片表面粗糙度小等特点；其切割材料涵盖各类半导体材料，如硅、锗、铌酸锂、砷化镓、磷化铟、人造宝石、碳化硅等，因此多线切割技术的应用也越来越广泛。

多线切割中必须使用一种具有流动性的混合研磨剂-切割砂浆(以下简称砂浆)。实际切割过程中，砂浆被往复运动的钢线带到切割区，被带入的砂浆决定硅片的切割质量；而钢线所带砂浆中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是决定切割材料成品片表面光洁程度和切割能力的关键。若碳化硅微粉的粒型规则，切出来的成品片表面光洁度就会很好；碳化硅微粉的粒度分布均匀，会提高切割机的切割能力。

现有的多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆泵，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，在切割时，砂浆桶内的砂浆在砂浆泵的作用下先进入热交换器中进行换热使其砂浆的温度达到一定的温度，然后砂浆沿第二砂浆管进入砂浆供给装置，砂浆供给装置将砂浆附着到金属线表面以便切割硅棒，切割硅棒后产生的废砂浆通过切割箱底部的砂浆收集孔沿砂浆收集孔流回砂浆桶以便再次利用，由于金属线在切割硅棒的过程中会产生大量的废砂浆，这些废砂浆中含有的杂质主要为切割硅棒时产生的硅粉颗粒，砂浆中含有的这些硅粉颗粒较多就会对严重影响切割硅片的质量，因此，必须保证砂浆桶内的硅粉含量不能超过一定的比例，目前，为了避免砂浆桶内的硅粉含量超标通常都是采用更换砂浆桶内砂浆的方法，具体的，现有的砂浆桶都是统一规格的，其内盛装的砂浆一般为270公斤，当多线切割机切割完一刀以后，产生的废砂浆被回收到砂浆桶内，此时，砂浆桶内硅粉的含量已达到临界线，为此利用砂浆泵将砂浆桶内的砂浆抽走80公斤，然后再补入80公斤新的砂浆，便可以降低砂浆内硅粉的百分比含量，之后切割机再进行第二刀的切割，当多线切割机切割完第二刀以后，砂浆桶内的硅粉已严重超标无法再重复使用，此时就必须更换新的砂浆桶，再重复上述步骤，由此可以看出，现有的多线切割机切割两刀需消耗350公斤的砂浆，砂浆的消耗量巨大，导致硅片的切割成本较高，而且切割两刀后的废砂浆内还含有大量的可以利用的砂浆，但是由于现有的多线切割机没有相应的分离设备，无法分离砂浆中含有的硅粉杂质，因此，为了保证硅片的切割质量，只能将废砂浆排出，造成浪费。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够降低硅片切割成本的多线切割机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆泵，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，所述第二砂浆管上设置有第一分离管，第一分离管的末端连接有用于分离砂浆和硅粉的旋流器，所述旋流器的用于排出砂浆的出口与砂浆桶之间通过第二分离管连通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口连接有第三分离管，第三分离管的末端连接有硅粉杂质收集桶。

进一步的是，所述砂浆桶上连接有砂浆补充管与砂浆排放管，所述砂浆补充管的末端连接有砂浆补充桶，所述砂浆补充管上设置有第二砂浆泵，砂浆排放管上设置有第三砂浆泵。