[实用新型]一种蓝宝石长晶设备有效
申请号: | 201520623916.2 | 申请日: | 2015-08-18 |
公开(公告)号: | CN205024352U | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 黄仕彪 | 申请(专利权)人: | 浙江工商职业技术学院 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315012 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及长晶设备,尤其是一种蓝宝石长晶设备。
背景技术
蓝宝石是三氧化二铝的单晶体,目前主要用于作为LED的基板,高硬度的特性使其在其他领域的应用也日渐收到重视,在现今的蓝宝石长晶工艺中,当长晶完成后预取出晶体时,是由上方开启真空腔体(或称长晶炉),再利用绳索将晶体吊起并取出,但这种做法费时费力,且晶体有较大碰撞受损的风险,目前也有可向下取出晶体的设备,但是提取过程动作复杂,需要多个位移机构,提高了设备的成本,而且设备的高度也增加,体积更为庞大笨重,提高了安装和维修的难度。
发明内容
本实用新型要解决上述现有技术的缺点,提供一种结构简单,体积较小的蓝宝石长晶设备。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案:这种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体、垂直动力机构和水平动力机构,真空腔体的底部设有下盖,垂直动力机构的上端与下盖连接固定,下端与水平动力机构连接固定,真空腔体内设有坩埚,坩埚通过其下部的坩埚承载座与下盖相连接。
所述垂直动力机构为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。
所述水平动力机构为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。
本实用新型有益的效果是:本实用新型结构通过垂直动力机构及水平动力机构,可便捷得取出或放入晶体,有效得缩小了设备的高度和体积的大小,进而达到大幅简化结构、降低成本及提高安装维修便利性的功效。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图;
图2是本实用新型垂直位移运动示意图;
图3是本实用新型水平位移运动示意图。
附图标记说明:真空腔体1,垂直动力机构2,水平动力机构3,下盖4,坩埚5,坩埚承载座6,滚轮7。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
如图所示,这种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体1、垂直动力机构2和水平动力机构3,真空腔体1的底部设有下盖4,用以在制造过程中与真空腔体1保持密封结合的状态,垂直动力机构2的上端与下盖4连接固定,下端与水平动力机构3连接固定,真空腔体1内设有坩埚5,坩埚5通过其下部的坩埚承载座6与下盖4相连接,坩埚承载座6用来支撑固定坩埚5,真空腔体1的其余机构如真空设备或加热设备等均为现有技术,且不是本实用新型的技术特征,这里就不赘述。
垂直动力机构2用以带动下盖4、坩埚承载座6及坩埚5升降并移入或移出真空腔体1,垂直动力机构2可为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸等这些结构的单个或组合来实现。
水平动力机构3用以带动垂直动力机构2、下盖4、坩埚承载座6及坩埚5等部件水平移出或移至真空腔体1下方,水平动力机构3可为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸等这些结构的单个或组合来实现。更具体的,水平动力机构3为滑轨,滑轨的下方设有滚轮7,用以提升动作的顺畅性,。
本实用新型可方便操作人员将坩埚5内的晶体取出并进行坩埚5的更换操作,实现从下方便捷提取晶体的目的,此过程中真空腔体1完全不需要也不会移动,可大幅简化设备的结构复杂度,并降低组装和制造成本,同时也可有效缩小设备的高度及体积大小,提升了操作和安装维修的便利性,进而达到大幅简化结构,降低成本及提高使用便利性的功效。
除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。
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